Многоступенчатые насосы Рутса

Многоступенчатые насосы Рутса от Pfeiffer Vacuum производят чистый и сухой вакуум для различных применений и рынков.

Компактные насосы Рутса серии ACP создают необходимый предварительный вакуум для турбонасосов в ускорителях частиц. Большие насосы ACP 120 с их высокой скоростью откачки и низким конечным давлением используются в сублимационной сушке. Безмасляные насосы серий A 100, A3P, A4 или ADH широко используются в качестве технологических насосов в полупроводниковой и лакокрасочной промышленности. Все эти приложения обладают одной общей чертой: они требуют чистого и сухого вакуума.

Технология многоступенчатых насосов Рутса здесь является идеальным решением. Его работающий насосный модуль без трения не требует смазки и уплотнительного материала между ротором и статором. Таким образом можно избежать обратного потока паров углеводородов. В камере всасывания насосов не обрабатываются уплотнительные материалы. Это означает, что насосы не содержат частиц, очень надёжны и стабильны в течение длительного периода времени, что приводит к низкой стоимости владения.

Многоступенчатые насосы для работы с малыми нагрузками

• ACP - для работы с чистым и сухим вакуумом
• A 100/200 L - для гибкой интеграции в производстве полупроводников
• ACP 120/ACG 600 - применябтся в промышленных и научно-исследовательских целях

Цена

По запросу

Многоступенчатые насосы для работы со средними нагрузками

Компактные насосы для cредне-химических процессов с низкими эксплуатационными расходами.

Цена

По запросу

Многоступенчатые насосы для жестких условий эксплуатации

Безмасляные технологические насосы серий A4 и ADH являются энергоэффективными и экономичными решениями для сложных процессов в полупроводниковой, лакокрасочной и солнечной промышленности.

Цена

По запросу

Области применения многоступенчатых насосов Рутса в чистых процессах

Многоступенчатые насосы Рутса с воздушным охлаждением серии ACP выделяются минимальными эксплуатационными расходами и постоянной производительностью. Они используются в аналитических приложениях, а также в чистых процессах для производства полупроводников и плазменной очистки. Компактные насосы A 100 L и A 200 L могут быть легко интегрированы в системы благодаря их небольшим размерам.

Загрузочные и шлюзовые камеры в полупроводниковых и фотоэлектрических системах производства являются типичными областями применения для этого типа насоса. Многоступенчатые насосы Рутса серии ACP 120 с водяным охлаждением изготовлены из прочного литого металла. Как и вакуумные насосные станции ACG 600, они используются в исследовательских установках, установках нанесения покрытий и металлургии, когда требуется высокая скорость откачки.

Агрессивные (химически активные) приложения не проблема

Многоступенчатые насосы серии A4 были разработаны для тяжелых процессов в полупроводниковых и фотоэлектрических производствах, в которых применяются коррозийные газы или конденсат. Насосы компактны и энергоэффективны. Низкий уровень шума и низкий уровень вибрации являются выдающимися характеристиками серии. Насосы серии A4 со скоростью откачки до 1 800 м3/ч изготовлены из коррозионностойких материалов.

Переносимость среды, а также высокая пропускная способность газа делают эти многоступенчатые насосы лучшим решением для использования в CVD-процессах в полупроводниковой промышленности. Серия ADH была специально разработана для применений в требовательных солнечных, полупроводниковых и светодиодных рынках, предлагая высокопроизводительные скорости откачки от 600 до 4 500 м3/ч какдля Азота (N2), так и для Водорода (H2). Насосы обеспечивают повышенную безопасность благодаря превосходной устойчивости к статическим и динамическим внутренним напряжениям.

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24,
стр.3, оф. В303

Мегагрупп.ру