|
|
CT-BW Влажная утилизация с дожигом.
Серия скрубберов CT-BW использует свои высокоэффективные решения в полупроводниковом производстве и областях промышленности со схожими процессами. Так как в новейших технологиях используются высококоррозионные газы, а новое оборудование использует повышенную газовую нагрузку, более совершенные технологии утилизации представлены компанией CT clean solutions.
Подробнее >>
|
|
|
CT-BW Twin Влажная утилизация с дожигом.
Работа скруббера CT-BW Twin с двойной камерой основана на передовой технологии серии CT-BW. Растущий рынок, требующий максимального сокращения издержек на процессы утилизации в промышленном производстве, привел к появлению скруббера CT-BW Twin, который гарантирует максимальное время безотказной работы для современного полупроводникового предприятия при наименьших затратах.
Подробнее > >
|
|
|
CT-CSNet Мониторинг системы утилизации.
Программа CSNet от компании Сentrotherm Clean Solutions следит за правильностью работы всех систем утилизации и фиксировании любых значимых событий.
Подробнее >> |
|
|
CT-D dual Сухой абсорбер.
(Система с двумя каналами)
Система CT-D dual, в основе работы которой применена сухая абсорбция, предлагает безопасное эффективное и надежное решение по утилизации отходов для полупроводникового производства.
Подробнее >>
|
|
|
CT-D single Сухой абсорбер.
(Система с одним каналом)
CT-D single с сухим абсорбером предлагает безопасное эффективное и надежное решение по утилизации отходов для полупроводникового производства и областях промышленности со схожими процессами, таких как микроэлектромеханика, фотогальваника и стекловолоконная оптика.
Подробнее >> |
|
|
CT-EW Электрическая и влажная утилизация.
Недавно представленная система CT-EW от Centrotherm Clean Solutions разработана в модульном варианте, чтобы отвечать строгим требованиям новых полупроводниковых процессов, а также в других областях применения, таких, как производство солнечных батарей.
Подробнее >> |
|
|
CT-Plasma Плазменная и влажная утилизация.
Аппарат CT-Plasma – это комбинация из источника плазмы и влажной промывочной секции, которая обеспечивает высокую производительность очистки от фтороуглеродов без сжигания газа.
Подробнее >> |
|
|
CT-W Влажный скруббер.
Система CT-W c влажной утилизацией – проверенное решение для очистки выхлопных газов после различных процессов осаждения и травления. Аппарат разработан для очистки от HCl, HF, SiH2Cl2, SiCl4, NH3 и, в целом, от любых кислот и/или щелочей из выхлопных газов, растворимых в воде.
Подробнее>>
|
|
|
CT-Water Очистка воды от фторидов.
Уменьшение концентрации фторидов в отработанной воде – важная задача для полупроводниковой и схожими по виду деятельности отраслям промышленности.
Плавиковая кислота и фториды, образуемые после промывки камеры плазменного травления токсичны. Свободные ионы фтора крайне опасны для здоровья, так как повреждают мягкие ткани и кости. Максимальная концентрация фторидов в отработанной воде определяется и ограничивается местным законодательством.
Подробнее>>
|
