Рейтинг@Mail.ru Rambler's Top100
 
Главная > ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА> Adixen (Alcatel Vacuum Technology)> Безмасляные насосы для полупроводниковой промышленности> Серия ADKL

ADKL серия
Безмасляные насосы для быстрой откачки больших объёмов

ПРОВЕРЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
Adixen разрабатывает оборудование, ориентированное на полупроводниковое производство в течение 25 лет. На основе своего богатого опыта Adixen произвела новую линейку высокоскоростных форвакуумных безмасляных насосов. Эти насосы способны удовлетворить самые невероятные технические задания по скорости откачки загрузочных камер в производстве плоских панелей, солнечного или промышленного производства.
Линейка представлена в двух версиях в зависимости от скорости откачки: AD30KL и AD70KL.

 

ОСОБЕННОСТИ
уникальный автоматический
бустерный режим
• уникальный автоматический
режим ожидания
• высокая скорость откачки с атмосферы
• надежный механизм откачки
• энергосберегающий режим
• возможность продувки

 

ПРЕИМУЩЕСТВА
• минимальные габаритные размеры
• низкое потребление энергии
• низкий уровень шума
• быстрая откачка
• высокая надежность, низкие требования к обслуживанию
• низкая стоимость владения
• низкая стоимость и простота обслуживания
• низкое потребление энергии в режиме ожидания
• низкий предельный вакуум
• возможность работы с агрессивными газами
• компьютерная система контроля за параметрами и состоянием насоса

ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ
• производство плоских панелей
• солнечных батарей
• загрузочные и передаточные камеры объёмом до 10 м3

Примерное время откачки объёмов от 250 до 2000 литров от 15 до 60 сек

ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ

AD30KL

AD70KL

Скорость откачки на атмосферном давлении, м3

м3/час
л/мин

570
9500

Время откачки (с атмосферы до 0,1 бар)

мбар
торр

3*10-4
2*10-4

Номинальный откачиваемый объём, л.

мбар
торр

10-3
7,5*10-4

Предельное давление с продувкой, мбар

кВт

от 1,3 до 1,6

Потребление питания, кВт

5,5 кВт
1,8 кВт в режиме ожидания

Питание

380/480В
или
208/220В

Потребление воды на охлаждение, л/мин

8

Входной фланец

ISO KND160

Выхлопной фланец

ISO KDNF50

Уровень шума

71

Размеры и вес

1560х515х1086
920 кг

1600х610х1248
540+690 кг

СОВРЕМЕННЫЕ РЕШЕНИЯ ДЛЯ FPD (ПЛОСКИХ ПАНЕЛЕЙ) И СОЛНЕЧНОЙ ЭНЕРГЕТИКИ

Скачать в PDF-формате

 

тел.: [495] 781-39-39                       факс: [495] 781-35-91      
Серия ADKL