A3P серия
Безмасляные форвакуумные насосы для cредне-химических процессов с пониженным энергопотреблением
|
|
|
НОВЕЙШИЕ ТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ УВЕЛИЧЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОСТИ
Огромный более чем 20-ти летний опыт производства безмасляных насосов для полупроводниковой промышленности позволил компании Adixen представить третье поколение насосов с пониженным энергопотреблением.
Насосы основанные на технологии многоступенчатого Рутса, позволяют достичь наивысших характеристик при минимальных затратах на эксплуатацию. Серия A3P обеспечивает возможность энергосбережения до 50% по сравнению с серией 2.
|
|
Преимущества
• низкое энергопотребление
• компактность
• технология многоступенчатого Рутса
• контроль температуры и продувки
• высокая коррозионная стойкость
• низкий уровень шума
• низкий уровень вибрации
• соответствие требованиям CE и Semi S2 - 0706
|
|
Эффективность
• низкая стоимость владения
• малая занимаемая площадь
• простота установки и подключения
• высокая надежность
• соответствие всем требованиям полупроводниковой промышленности
|
|
Применение
• травление
• озоление
• стриппинг
• ионная Имплантация
|
 |
|
Единицы измерения |
A103P
|
A603P
|
A1003P
|
| Максимальная скорость откачки 50 ГЦ |
м3/час
л/мин
|
120
2000
|
570
9500
|
900
1500
|
Остаточное давление
(без продувки) |
мбар
торр
|
6,5*10-3
5*10-3
|
3*10-4
2*10-4
|
3*10-4
2*10-4
|
Остаточное давление
(с продувки) |
мбар
торр
|
2,6*10-2
2*10-2
|
10-3
7,5*10-4
|
10-3
7,5*10-4
|
Потребление энергии на предельном
давлении 50 Гц |
кВт
|
1
|
от 1,3 до 1,6
|
| Мощность мотора |
кВт
|
2,5
|
4,7
|
5
|
| Поток охлаждаемой воды |
л/мин
|
1,5
|
| Потребление азота |
slm
|
от 5 до 60
|
| Впускной клапан |
|
DN 50
|
DN 100
|
DN 100
|
| Выпускной клапан |
|
DN 25
|
DN 25
|
DN 25
|
| Размеры |
Длина, мм
Ширина, мм
Высота, мм
|
684
310
323
|
684
342
662
|
684
342
662
|
| Вес |
кг
|
125
|
270
|
270
|
|
НИЗКАЯ СТОИМОСТЬ ВЛАДЕНИЯ, КОМПАКТНОСТЬ, НАДЕЖНОСТЬ
|
Скачать в PDF-формате
|
