Высокочастотные генераторы плазмы серии SurePower
 |
|
Серия ВЧ генераторов плазмы SurePower - идеальное решение для PECVD, HDPCVD, PVD, ALD, а также процессов травления. Опционально генераторы могут оснащаться системой автоматической подстройки частоты и встроенным Вольт-Амперным датчиком. |
 |
|
Характеристики высокочастотных генераторов плазмы серия SurePower
| МОДЕЛЬ |
QL13013
|
QL10513
|
QL6513
|
QL5513
|
QL3513
|
| Частота |
13,56 МГц
|
| Стабильность частоты и точность |
±0,005%
|
| Выходная мощность и точность |
| Динамический диапазон |
130-13000 Вт
|
105-10500 Вт
|
65-6500 Вт
|
55-5500 Вт
|
35-3500 Вт
|
| Точность поддержания |
что больше ±1% от уставки или
±0,1% от полной выходной мощности
|
| Выходная мощность при КСВН |
| 1,1:1 |
13000 Вт
|
10500 Вт
|
6500 Вт
|
5500 Вт
|
3500 Вт
|
| 1,5:1 |
13000 Вт
|
10500 Вт
|
6500 Вт
|
5500 Вт
|
3500 Вт
|
| 2:1 |
10400 Вт
|
8400 Вт
|
5200 Вт
|
4400 Вт
|
2800 Вт
|
| 3:1 |
7800 Вт
|
6300 Вт
|
3900 Вт
|
3300 Вт
|
2100 Вт
|
| Требования |
| Охлаждение |
водяное
|
| Рабочая температура |
5-40оС
|
| Интерфейс |
| Цифровой |
RS232
|
| Аналоговый |
9-pin
|
| Размеры и комплектация |
| Размер |
17"x24"x5,25"
|
17"x24"x5,25"
|
17"x24"x5,25"
|
17"x24"x5,25"
|
8,5"x23"x5,25"
|
| ВЧ-разъём |
LC-тип
|
LC-тип
|
LC-тип
|
LC-тип
|
HN-тип
|
| Вес |
54,5 кг
|
54,5 кг
|
54,5 кг
|
54,5 кг
|
27,3 кг
|
Размеры высокочастотных генераторов плазмы серии SurePower
 |
|
 |
|
