Высокочастотные генераторы плазмы серии GHW
 |
|
Серия ВЧ генераторов плазмы GHW - идеальное решение для PECVD, HDPCVD и процессов травления. |
Характеристики высокочастотных генераторов плазмы серия GHW
| МОДЕЛЬ |
GHW-12
|
GHW-25
|
GHW-50
|
| Частота |
13,56 МГц
|
| Стабильность частоты и точность |
±0,005%
|
| Выходная мощность и точность |
| Динамический диапазон |
10-1250 Вт
|
10-2500 Вт
|
10-5000 Вт
|
| Точность поддержания |
> 125 Вт: ±1,5% уставки
< 125 Вт: ±3 Вт
|
> 250 Вт: ±1,5% уставки
< 250 Вт: ±6 Вт
|
> 500 Вт: ±1,5% уставки
< 500 Вт: ±10 Вт
|
| Защита при не согласованной нагрузки |
автоматическая: отдаваемая мощность ограничивается в течение 0,25 мс в
случае если отраженная мощность достигает запрограммированного уровня
|
|
≤16% от номинальной мощности
|
≤20% от номинальной мощности
|
| Выходная мощность при КСВН |
| 1,1:1 |
1250 Вт
|
2500 Вт
|
5000 Вт
|
| 2:1 |
1000 Вт
|
2000 Вт
|
3250 Вт
|
| 3:1 |
650 Вт
|
1500 Вт
|
2000 Вт
|
| Требования |
| Охлаждение |
водяное
|
| Рабочая температура |
5-35оС
|
| Интерфейс |
| Цифровой |
RS232
|
| Аналоговый |
25-pin
|
| Размеры и комплектация |
| Размер |
3,5"x19"x20"
89x483x508 мм
|
5,25"x19"x20,5"
133x483x521 мм
|
8,72"x19"x22,1"
221x483x560 мм
|
| ВЧ-разъём |
N-тип
|
N-тип
|
HN-тип
|
| Вес |
14,8 кг
|
24,9 кг
|
41,3 кг
|
|
