CT-BW Twin Burn/Wet Point-of-Use Abatement 

CT-BW Twin

Работа аппарата CT-BW Twin с двойной камерой основана на передовой технологии серии CT-BW. Растущий рынок, требующий максимального сокращения издержек на процессы утилизации в промышленном производстве, привел к появлению аппарата CT-BW Twin, который гарантирует максимальное время безотказной работы для современного полупроводникового предприятия при наименьших затратах. Система включает в себя два реактора (камеры сгорания), работающих в, так называемом, режиме «холодного резервирования» с одной общей секцией увлажнения и одной общей емкостью хранения жидкости. Смысл «холодного резервирования» следующий: при работе первого реактора, второй находится в режиме ожидания, и, в случае остановки первого, вследствие сбоя в системе и/или сервисного вмешательства, гарантированно включается второй. Функция утилизации автоматически передается второму реактору, таким образом, обеспечивается непрерывность процесса в целом.

 

Преимущества

• Модульный дизайн.
• Высокая устойчивость к коррозии, благодаря использованию специальных материалов.
• Возможность переработки большого количества отложений.
• Расширенный межремонтный ресурс с небольшим средним временем ремонта.
• Полноразмерная секция увлажнителя с возможностью адаптации к различным газовым нагрузкам.
• Разделенная система охлаждения, выдерживающая высокие энергетические нагрузки, например большое количество водорода на входе.
• Удобство сервисного обслуживания.
• Соответствие международным требованиям.