Высокочастотные генераторы плазмы серии ELITE
 |
|
Серия ВЧ генераторов плазмы ELITE представляет собой новое поколение генераторов с высокоскоростной замкнутой системой контроля. Генераторы предлагаются в двух конфигурациях 2U или 3U, имеют воздушное охлаждение и однофазное питание, аналоговый 25-pin и RS232 интерфейсы, опционально оснащаются интерфейсами Profibus и DeviceNet и 2-х строчным ЖК дисплеем с 6 функциональными клавишами.
ВЧ генераторы плазмы серии ELITE могут применяться как в качестве источников питания, так и устройства постоянного смещения (DC bias control). |
|
Характеристики высокочастотных генераторов плазмы серия ELITE
| Модель |
elite 750
|
elite 600
|
elite 300
|
| Частота |
13,56 МГц
|
| Стабильность частоты и точность |
±0,005%
|
| Выходная мощность и точность |
| Динамический диапазон |
1-750 Вт
|
1-600 Вт
|
1-300 Вт
|
| Точность поддержания |
±2 Вт (1-100 Вт)
±2% Вт (101-750 Вт)
|
±2 Вт (1-100 Вт)
±2% Вт (101-600 Вт)
|
±2 Вт (1-100 Вт)
±2% Вт (101-300 Вт)
|
| Воспроизводимость |
±1%
|
| Выходная мощность при КСВН |
| 1,1:1 |
750 Вт
|
600 Вт
|
300 Вт
|
| 1,5:1 |
600 Вт
|
600 Вт
|
300 Вт
|
| 2:1 |
486 Вт
|
486 Вт
|
300 Вт
|
| 3:1 |
384 Вт
|
384 Вт
|
300 Вт
|
| ∞:1 |
200 Вт
|
200 Вт
|
200 Вт
|
| Требования |
| Электропитание |
220 В / 50Гц
|
| Охлаждение |
Воздушное
|
| Рабочая температура |
5-40oС
|
| Интерфейс |
| Цифровой |
RS232
|
| Аналоговый |
25-pin
|
| Размеры и комплектация |
| Размер |
2U, full rack
432x381x89 мм
|
2U, full rack
432x381x89 мм
или
3U, half rack
216x381x134 мм
|
3U, half rack
216x381x134 мм
|
| ВЧ-разъем |
N-тип
|
| Вес |
9,2 кг
|
| Опционально |
- программируемый импульсный режим от 1 Гц до 25 кГц
- регулировка мощности через постоянное смещение (DC bias control)
- интерфейсы Profibus и DeviceNet
- 2-х строчный ЖК дисплей с 6 функциональными клавишами |
Размеры высокочастотных генераторов плазмы серия ELITE
 |
 |
 |
 |
 |
 |
|
|
|
 |
 |
|
 |
 |
 |
|
