Гибридный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе серии ATP-M для откачки легких газов
 |
Насос ATP2300M это высокопроизводительное решение, применяемое в вакуумных приложениях, где требуется высокая скорость откачки одновременно с высокой пропускной способностью (до 3000 см3/мин по азоту). Также насос применяется, как для легких, так и для агрессивных процессов в различных областях промышленности:
- ионная имплантация
- HDPCVD процессы
- напыление
- напыление тонкоплёночных покрытий
- научные исследования и прочее
|
|
Особенности и преимущества
высокое среднее время наработки на отказ
низкий уровень шума и вибраций
абсолютно безмасляный вакуум
компактные размеры
магнитный подвес не требующий обслуживания
установка в любой ориентации
регулируемая скорость вращения ротора для оптимизации параметров откачки
модификация со встроенным контроллером
|
|
Технические характеристики
|
Характеристика
|
ед. изм.
|
ATP 2300M
|
|
Присоединительный фланец
|
|
DN200
ISO F, CF
|
DN250
ISO F, CF
|
|
Скорость откачки по
|
N2
|
л/сек
|
1250
|
1750
|
|
Ar
|
1200
|
1650
|
|
He
|
1700
|
1800
|
|
H2
|
1700
|
1700
|
|
Степень сжатия по
|
N2
|
|
108
|
|
Ar
|
108
|
|
He
|
105
|
|
H2
|
7*103
|
|
Частота вращения
|
об/мин
|
31 000
|
|
Минимальное остаточное давление
|
мбар
|
10-9
|
|
Макс. давление на входе
|
0,05
|
|
Макс. давление на выхлопе
|
1,5
|
|
Расход воды на охлаждение
|
л/час
|
60
|
|
Габаритные размеры
|
высота
|
мм
|
290
|
|
диаметр
|
315
|
|
Масса
|
кг
|
52
|
|
