CT-EW Electrical/Wet Point-of-Use Abatement

 

CT-EW

Недавно представленная система CT-BW от Centrotherm Clean Solutions разработана в модульном варианте, чтобы отвечать строгим требованиям новых полупроводниковых процессов, а также в других областях применения, таких, как производство солнечных батарей. Благодаря модульной концепции новой системы, секция дожига (В) может быть легко заменена электрическим нагревателем (E). В новой CT-EW серии предусмотрено до четырех независимых входов для выхлопных газов и она относится к этому же семейству оборудования. Возможности серии CT-BW, такие как, высокая эффективность очистки выхлопных газов процессов осаждения и травления, соответствие международным требованиям, высокая устойчивость к коррозии и способность переработать большое количество твердых продуктов реакции, также представлены в серии CT-EW. Нагревательные стержни расположены таким образом, что достигнуто равномерное распределение температуры по всему реактору. Любой из стержней может быть демонтирован и с легкостью очищен.

Преимущества:

• Производительность 600 л/мин. (включая продувочный газ насоса)
• Простое обслуживание нагревательных элементов.
• Модульный дизайн.
• Высокая устойчивость к коррозии, благодаря использованию специальных материалов.
• Возможность переработки большого количества отложений.
• Расширенный интервал периодического обслуживания, легкость удаления осаждений.
• Полноразмерная секция увлажнителя.
• Соответствие международным требованиям.