Импульсные генераторы постоянного тока серии RPDG
 |
|
Серия RPDG - серия импульсных генераторов постоянного тока для мощностей 5-20 кВт. Источники RPDG обеспечивают ассиметричные моно- и биполярные электрические импульсы с сохранением точности, воспроизводимости и гибкости непрерывных источников Optima. Частота повторения импульсов настраивается пользователем в диапазонах 25-125 кГц или 50-250 кГц, в зависимости от модели, что делает возможной настройку под изготовление множества видов тонких пленок, включая Al2O3, BST, PZT, Ta2O5, TaN, TiN, ITO, SiO2, ZnO и SiN.
|
Характеристики импульсных генераторов постоянного тока серии RPDG
| МОДЕЛЬ |
RPDG-50
|
RPDG-100
|
RPDG-200
|
| Частота |
программируемая 25-125 кГц или 50-250 кГц
|
| Цикл |
программируемый 0-40% (Reverse Bias)
|
| Мощность |
5000 Вт
|
10000 Вт
|
20000 Вт
|
| Регулировки по |
Напряжению, Силе тока, Мощности
|
| Режимы работы |
Ramping, Run Time, Joule, Sequence, Constant Run
|
DC линейность/точность
не зависимо от режима
режим регулировки по
мощности |
±0,1%: 10-100% от номинальной мощности
±0,25%: 1-10% от номинальной мощности
|
| Требования |
| Электропитание |
380 В / 50Гц
|
| Охлаждение |
Воздушное
|
| Рабочая температура |
5-40оС
|
| Интерфейс |
| Цифровой |
RS232
|
| Аналоговый |
9-pin
|
| Размеры и комплектация |
| Размер |
5,22"x18,9"x24,8"
132,5x480x631 мм
|
| Разъём |
UHF "мама" или пластина
|
| Вес |
25 кг
|
Размеры импульсных генераторов постоянного тока серии RPDG
 |
|
