|
|
Баратроны - датчики давления
абсолютного, дифференциального или избыточного давления
- измерения не зависят от рода газа
- диапазон верхних пределов измерений от 20 мТорр до 25000 Торр
- точность до 0,05% от измеряемой величины
- внесены в ГосРеестр Средств Измерений РФ
|
|
|
|
|
Измерители и регуляторы расхода газовых сред
с верхним пределом от 1 sccm до 300 slm (ст.л/мин)
- точность, воспроизводимость и надежность измерений
- модели для агрессивных сред
- модели с цифровыми интерфейсами
|
|
|
|
|
Системы регулирования расхода газов и поддержания давления
Компания MKS Instruments - лидер в производстве автоматических систем регулирования давления на входе или на выходе вакуумной камеры
- высокая точность
- короткое время отклика
- надежность работы
|
|
|
|
|
Вакууметры
цифровые и аналоговые для измерения вакуума от 10-11 торр до атмосферного давления
- пьезо
- пирани
- конвекционные пирани
- ионизационные (горячий катод)
- магниторазрядные (холодный катод)
- комбинированные вакуумметры
|
|
|
|
|
Анализ газовой среды. Масс-спектрометры
для непрерывного газового анализа в режиме реального времени в диапазоне от 1...6 a.e.m. до 1...300 a.e.m. в вакуумных и атмосферных условиях
|
|
|
|
|
Анализ газовой среды. Инфракрасные Фурье-анализаторы
для контроля состава среды (более 30 газов) в режиме реального времени с чувствительностью до 10 ppb
|
|
|
|
|
ENI® Высокочастотные генераторы плазмы и генераторы постоянного тока
- высокочастотные генераторы и генераторы постоянного тока
- импульсные источники для плазменных технологий
|
|
|
|
|
HPS® Вакуумная арматура и аксессуары
- вакуумная арматура
- клапаны
- прогреваемые линии
- ловушки
|
|
|
|
|
Дозаторы и регуляторы жидкого и парообразного агента
Компания MKS Instruments разработала специальные системы подачи жидкого агента и регуляторы расхода на основе измерения давления
|
|
|
|
|
ASTEX® Генераторы реактивных газов
генераторы фтора и реактивных газов с высокой степенью диссоциации для специальной очистки вакуумных камер без применения дорогостоящей обработки
|
|
|
|
|
ASTEX® Генераторы озона. SEMOZON® и LIQUOZON®
модельные ряды генераторов высококонцентрированного и высокочистого озона для процессов осаждения, влажной очистки и для снятия фоторезиста, системы подачи озона
|
|
|
|
|
Цифровые продукты
- цифровые Баратроны
- цифровые регуляторы расхода газа
- цифровые мотыльковые заслонки
- коммуникаторы CommunicaTorr®, поддерживающие RS-484, DeviceNetTM и Profibus
|
|
|
|
|
CALSTAND® Калибровочные установки эталоны давления и расхода
Внесены в ГосРеестр Средств Измерений РФ. Обеспечивают высочайшие точностные характеристики:
- по давлению от 10-7 мм.рт.ст. до 25 бар
- по расходу от 1 sccm до 200 slm
|
