Большое время работы системы
Проверка на месте потока газа без снятия регуляторов расхода газа
Более короткое время измерения по сравнению с любыми другими методами
Быстрая и эффективная диагностика и поиск неисправностей
Улучшенное управление процессами
Точное определение газового потока 1% от ИВ
Широкий диапазон измерений (до 5000 sccm)
Нет рисков загрязнения газовых линий при снятии РРГ

Tru-Flo Mass Flow Verifier является интегрируемым диагностическим инструментом, который обеспечивает проверку на месте массового регулятора расхода газа в полупроводниковых установках. Tru-Flo измеряет скорость нарастания давления в известном объеме при известной температуре, чтобы определить массовый расход в пределах ± 1% от измеряемого значения. Он состоит из небольшого объема, высокоточного датчика давления Баратрон, запорных клапанов и управляющей электроники, которые объединены в одном компактном корпусе. Tru-Flo может быть легко включен в газовую панель установки и соединен с компьютером через RS-232 интерфейс.