Высокочувствительная система обнаружения фоторезиста 300 mm Resist-Torr XD

300-миллиметровый Resist-Torr XD использует технологию V-lens повышающую проверенную производительность 300 mm Resist-Torr до нового уровня чувствительности, селективности и уверенности в применении дегазации по сравнению с обычными квадрупольными масс-спектрометрическими анализаторами остаточных газов.

300 mm Resist-Torr XD преодолевает проблемы, возникающие при использовании таких сложных газов как аргон, которые не могут решить ограниченные возможности обнаружения обычных систем. В сочетании с уникальным PR-индексом от MKS, эта мощная платформа обеспечивает явное преимущество для контроля и обнаружения следовых газов.

• Обнаружение загрязнения фоторезиста при дегазации под высоким давлением (~8 Торр)
• Повышенная чувствительность до 10 раз при меньших массах (<15 ppb)
• Достоверное различие между газами и фоном
• 2-кратное улучшение абсолютной чувствительности - благодаря улучшенной фокусировке
• Полностью автоматизированный контроль рабочего процесса означает отсутствие необходимости в операторе

Технические данные

Анализатор
Диапазон измеряемых масс	1-200 а.е.м.
Детектор	Двойной (чаша Фарадея и вторичный электронный множитель)
Мин. определяемая концентрация	<15 ppb с аргоном или азотом
Стабильность	±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при стабильной температуре окружающей среды
Источник ионов	Высокая чувствительность, закрытый ионный источник
Материал катода	Сменные двойные ториевые нити
Рабочая температура	температура электроники: 10-40 °C
Условия эксплуатации	Относительная влажность 80% (без конденсации)

Технология V-lens

V-lens Ion Optics Technology - Траектории отрицательных ионов (зеленый), положительных ионов (красный), нейтральных ионов (синий) в ионной оптике V-lens, уменьшающие метастабильный распад.

В процессах дегазации обычно используются инертные газы, такие как аргон или азот. Использование этих газов может быть проблематичным, поскольку они создают повышенный базовый уровень в АОГ из-за большого количества химического фонового шума, вызванного метастабильным распадом. Это приводит к снижению чувствительности, что может быть проблематичным для производителей, которые хотят быстро и легко выявить изменения в следовых газах (которые указывают на проблемы в процессе производства).

Технология V-lens, уникальное решение, помогает преодолеть эту проблему, ообеспечивая стабильно низкий массовый независимый базовый уровень и уровни обнаружения в диапазоне низких частот ppb. Это достигается с помощью уникальной ионной оптики, которая использует запатентованный механизм двойной фокусировки и отклонения, который значительно снижает фон и повышает чувствительность (см. Рисунок).

Результатом является газоанализатор с пределами обнаружения в диапазоне низких частот ppb, без ущерба для любого другого аспекта работы прибора.

Эта современная технология АОГ интегрирована с платформой управления Process Eye Professional, основанной на сценариях, настраиваемой пользователем программой. Комбинация V-lens, закрытого ионного источника и автоматизированного входа позволяет осуществлять чувствительный и воспроизводимый контроль полного технологического цикла ALD, CVD или травления.

Максимизируя соотношение между сигналами газа ALD, CVD или камеры травления и газового фона в корпусе анализатора с дифференциальной накачкой, V-lens и закрытым источником ионов обеспечивает обнаружение низкого уровня ppm для следовых загрязнений в технологическом газе.


Данные получены из очищенного аргона при атмосферном давлении без технологии V-lens	Снижение базовой линии и улучшение чувствительности обычно наблюдается при использовании QMS с технологией V-lens

Мониторинг дегазации сигнатурной массы

Пример из реальной жизни, когда контроль дегазации сигнатурной массы может быть достигнут только при использовании технологии V-lens, показан на рисунке. Исходная линия значительно снижена, что позволяет однозначно определить целевую массу. Это позволяет быстрее и проще идентифицировать следовые газы, что имеет решающее значение во многих производственных процессах.

Индекс PR и интеграция Fab

Когда система используется с мощными функциями пакета программного обеспечения сенсорного управления Process Eye и TOOLweb RGA, результатом является полностью автоматизированная работа и высоконадежное и чувствительное обнаружение фоторезиста. Внеплановые простои сокращаются, а производительность устройств повышается.

300-миллиметровый Resist-Torr XD учитывает множество различных параметров ступени дегазации и объединяет эти данные для предоставления информации в виде значимого числа без необходимости интерпретации пользователем. Это измерение, называемое индексом PR, является нормализованным показателем загрязнения фоторезиста с помощью пластин, который может быть представлен в различных формах для сравнения данных с течением времени.

300-миллиметровый Resist-Torr может автоматически прервать обработку любой пластины, без вмешательства оператора, если пластина входит в вакуумную систему с вредными уровнями остаточного фоторезиста, как определено индексом PR. Пример на изображении показывает трассировку индекса PR для серии тестовых пластин и предоставляет пользователю выборочный способ обнаружения образцов, указывающих на загрязнение. Индекс PR отображается в виде чёрной кривой на верхней линии, а уровень опасности-в виде желтой линии. Можно видеть, что черная линия PR поднимается, указывая на то, что она идентифицировала загрязненные пластины. Индекс PR позволяет использовать более чувствительный и надежный метод обнаружения загрязнения фоторезистом.

TOOLweb RGA

Используя опцию интеграции датчика RGA TOOLweb для технологических датчиков 300-миллиметровый Resist-Torr XD можно использовать в качестве датчика камеры дегазации, в условиях полностью автоматизированной производственной среды. TOOLweb АОГ поддерживает постоянный мониторинг функционирования оборудования, используя данные всех датчиков, обрабатываемые микропроцессором, до тех пор, пока не будут обнаружены условия применения моделей аварийных сигналов. Доступна полная передача аварийных сигналов и данных на хост-устройство данных масс-спектрометрии FAB и FDC. Поэтому возможен мониторинг состояния рабочей камеры в режиме реального времени и определение любых отклонений процесса от идеальных условий.

Скачать буклет 300 mm Resist-Torr XD (En)

Цена

По запросу

+7 (495) 781 39 39

sales@blms.ru

107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, д.24,
стр.3, оф. В303

Мегагрупп.ру