Гибридные турбонасосы на магнитном подвесе серии АТН-М
 |
Насосы серии АТН-М относятся к классу больших гибридных турбонасосов и сочетают в себе две последовательно выстроенные ступени: турбомолекулярную и молекулярную. Первая ступень обеспечивает высокую скорость откачки и глубокое разряжение, а вторая - большие степени сжатия и широкий диапазон допустимых давлений на фланце выхлопа.
Ротор всех насосов этой серии имеет магнитный подвес, что исключает применение смазки и делает серию АТН-М абсолютно безмасляной. Это же обстоятельство, в отличие от насосов на подшипниках качения, обеспечивает отсутствие трения. Таким образом, насосы серии АТН-М, при использовании их в чистых процессах, не требуют периодического обслуживания. Во многих применениях такого рода АТН-М непрерывно работают многие годы без единого вмешательства.
Геометрия поверхностей ротора и статора каждой модели АТН-М вычислена при помощи компьютера. При этом ключевыми условиями были обеспечение большого потока откачиваемого газа при высоком давлении на фланце всасывания (для случаев большого газовыделения в объёме) и способность достигать глубокого разряжения (8*10-9 мбар), а также минимальные гидродинамические потери. Ротор и статор изготавливаются высокоточным фрезерованием (+/- 1 мкм) из цельной заготовки, благодаря чему исключены дисбалансы и остаточные напряжения металла в местах крепления лопастей.
|
АТН-М одна из самых надёжных систем в своём классе. Конструкция насоса не имеет механически изнашивающихся деталей, что исключает периодическое обслуживание. Даже в случае аварийного отключения сетевого питания во время вращения ротора система авторотации обеспечит плавную его парковку. При этом не требуется источник бесперебойного питания, так как система использует энергию вращения ротора. Единственный элемент, который может потребовать замены - резервные роликовые подшипники торможения. Они включены в конструкцию насоса на случай непроизвольного отсоединения работающего насоса от контроллера либо обширного прорыва атмосферы в откачиваемый объём. В этих двух экстренных случаях резервные подшипники обеспечат безопасное торможение ротора. Ресурс подшипников - до 10 торможений. О необходимости их замены подскажет контроллер.
| Основные области применения
- Осаждение покрытий
- плавильные печи
- глубокое травление микромеханических элементов
- ионная ректификация
- ионное травление
- электронная микроскопия
- имитация космического пространства
- ускорители частиц
- производство полупроводников
- научные исследования и т.п.
|
|
Система автоматической балансировки
Роторы насосов серии АТН-М снабжены системой автоматической балансировки по 5-ти осям. Балансировки осуществляются в реальном времени. Контроллер обнаруживает дисбаланс, сравнивая показания датчика положения по каждой из осей с эталонным банком данных и вырабатывает управляющий сигнал на соответствующее изменение тока в электромагнитах. Автоматическая балансировка позволяет насосу эффективно работать даже в условиях интенсивного осаждения загрязнений на лопастях и исключить возникновение вибраций.
|
|
 |
Система предотвращения внутренних конденсаций
Продувка инертным газом является стандартной системой для всей серии АТН-М. Её следует задействовать в случае откачки тех сред, которые содержат коррозионные газы либо легкоосаждаемые субстанции. При вдувании, инертный газ проходит через область подшипников и соединяется с откачиваемой средой на уровне нижнего фланца молекулярной ступени, препятствуя, таким образом, попаданию откачиваемой среды под юбку ротора и, как следствие, возникновению осаждений и коррозии в наиболее чувствительных областях насоса.
|
 |
Таблица технических характеристик турбонасосов серии АТН-М
|
Характеристика
|
Ед.изм.
|
ATH
500M
|
ATH
1300M
|
ATH
1300MT*
|
ATH
1603M
|
ATH
1600MT*
|
ATH
2303M
|
ATH
2300MT*
|
ATH
2800M
|
ATH
2800MТ*
|
ATH
3200M
|
ATH
3200MТ*
|
|
Скорость вращения ротора
|
об/мин
|
50 000
|
39 000
|
39 000
|
31 000
|
31 000
|
31 000
|
31 000
|
25 000
|
25 000
|
25 000
|
25 000
|
|
Входной фланец
|
|
DN
100
|
DN
160
|
DN
160
|
DN
200
|
DN
160
|
DN
200
|
DN
200
|
DN
250
|
DN
200
|
DN
250
|
DN
200
|
DN
250
|
DN
200
|
DN
200
|
DN
250
|
DN
250
|
DN
320
|
DN
320
|
|
Скорость откачки по:
|
N2
|
л/с
|
340
|
500
|
920
|
1250
|
920
|
1250
|
1200
|
1220
|
1230
|
1270
|
1250
|
1850
|
1250
|
1850
|
2050
|
2050
|
2600
|
2600
|
|
Ar
|
л/с
|
270
|
500
|
920
|
1250
|
920
|
1250
|
1100
|
1150
|
1130
|
1180
|
1200
|
1750
|
1200
|
1750
|
2000
|
2000
|
2400
|
2400
|
|
He
|
л/с
|
270
|
340
|
810
|
850
|
810
|
850
|
960
|
960
|
960
|
960
|
1500
|
1600
|
1500
|
1600
|
2150
|
2150
|
2400
|
2400
|
|
H2
|
л/с
|
170
|
190
|
490
|
550
|
490
|
550
|
550
|
550
|
580
|
580
|
1200
|
1200
|
1200
|
1200
|
1750
|
1750
|
1800
|
1800
|
|
Степень сжатия
|
N2
|
|
2*107
|
107
|
107
|
6*107
|
6*107
|
>108
|
>108
|
>108
|
>108
|
>108
|
>108
|
|
Ar
|
|
8*106
|
107
|
107
|
6*107
|
6*107
|
>108
|
>108
|
>108
|
>108
|
>108
|
>108
|
|
He
|
|
104
|
103
|
103
|
8*103
|
8*103
|
>3*104
|
>3*104
|
>3*104
|
>3*104
|
>3*104
|
>3*104
|
|
H2
|
|
2*102
|
102
|
102
|
3*102
|
3*102
|
>103
|
>2*103
|
>2*103
|
>2*103
|
>2*103
|
>2*103
|
|
Предельное давление
|
мбар
|
<10-8
|
<6*10-9
|
<6*10-9
|
<6*10-9
|
<6*10-9
|
<6*10-9
|
<6*10-9
|
<6*10-9
|
<6*10-9
|
<6*10-9
|
<6*10-9
|
|
Расход продувочного газа
|
ст.см3/мин.
|
50
|
50
|
50
|
50
|
50
|
50
|
50
|
50
|
50
|
50
|
50
|
|
Макс. давление на всасывании
|
мбар
|
1,3
|
0,5
|
0,5
|
0,4
|
0,02
|
0,3
|
0,14
|
0,26
|
0,01
|
0,26
|
0,01
|
|
Макс. давление на выхлопе
|
мбар
|
2,7
|
1,5
|
1,5
|
1,5
|
1,0
|
2
|
1,5
|
1,5
|
1,0
|
1,5
|
1,0
|
|
Макс. откачиваемый поток
|
ст.см3/мин.
|
2500
|
3000
|
3000
|
4000
|
1000
|
4000
|
1000
|
5000
|
1000
|
5000
|
1000
|
|
Макс. температура прогрева
|
°С
|
|
|
75
|
|
75
|
|
75
|
|
75
|
|
75
|
|
Макс. температура отжига
|
°С
|
120
|
120
|
120
|
90
|
120
|
90
|
120
|
120
|
120
|
120
|
120
|
|
Уровень вибрации
|
мкм
|
0,01
|
0,01
|
0,01
|
0,01
|
0,01
|
0,01
|
0,01
|
0,01
|
0,01
|
0,01
|
0,01
|
|
Параметры охлаждающей воды
|
|
Расход <1л/мин, температура от 15°C до 25°C
|
|
Рабочее положение
|
|
Любое
|
|
Выхлопной / Фланец продувки
|
|
DN40 / продувка -DN16
|
|
Время запуска
|
Мин.
|
<2,5
|
<5
|
<5
|
6
|
6
|
8
|
8
|
10
|
10
|
10
|
10
|
|
Вес турбины
|
Кг.
|
17
|
34
|
34
|
34
|
34
|
60
|
60
|
85
|
85
|
85
|
85
|
|
Контроллер
|
|
Integrated
|
ACT1300M
|
ACT1300M
|
Magpower/
OBC
|
ACT1300M/
OBC
|
Magpower/
OBC
|
Magpower/
OBC
|
Magpower
|
Magpower
|
Magpower
|
Magpower
|
|
Вес контроллера
|
Кг.
|
|
8
|
8
|
8
|
8
|
8,7
|
8,7
|
8,7
|
8,7
|
8,7
|
8,7
|
|
Питание контроллера
|
|
От 100 до 240В - 50/60Гц - однофазное
|
|
|
*МТ - прогреваемая версия (Для особо химически активных сред рекомендуется применять насосы версии ATH-MT, которые имеют встроенную нагревательную рубашку для более эффективного предотвращения осаждения на внутренней поверхности насоса).
|
|
|
|
|
|
|
|
ACT1300M
|
Magpower
|
OBC
(встроенный контроллер)
|
|
Тип контроллера
|
½ rack
|
*
|
*
|
|
|
Pump mounted
|
|
|
*
|
|
|
|
|
|
|
|
Насос
|
ATH 1300M
|
*
|
|
|
|
ATH 1300МТ
|
*
|
|
|
|
ATH 1603M
|
|
*
|
*
|
|
ATH 1600MT
|
*
|
|
*
|
|
ATH 2303M
|
|
*
|
*
|
|
ATH 2300MT
|
|
*
|
*
|
|
ATH 2800M/MT
|
|
*
|
|
|
ATH 3200M/MT
|
|
*
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Эл. питание
|
200-240 В
|
*
|
*
|
*
|
|
