 |
Оптимизация процессов посредством четкого распределения потока
Оптимизация производительности процесса стала проще с использованием DELTA - регулятора соотношения потоков. Он широко используется в различных применениях, где требуется разделение потоков, таких как травление, стриппинг и PECVD. DELTA предоставляет пользователям возможность распределять газ или смеси газов в две разные зоны в рабочей камере. Подаваемый в DELTA газ или любая газовая смесь разделяется автоматически на два отдельных выходных канала согласно заданному соотношению. |
