СИСТЕМЫ РЕГУЛИРОВАНИЯ РАСХОДА ГАЗОВ И ПОДДЕРЖАНИЯ ДАВЛЕНИЯ

Компания «MKS Instruments» - мировой лидер по производству высокоточных систем регулирования расходов газа и систем поддержания и регулирования давления.

СИСТЕМЫ РЕГУЛИРОВАНИЯ РАСХОДА ГАЗОВ

Смеситель газов используется в многоканальных системах для получения заданных газовых смесей внутри реактора (камеры) и их поддержания во время технологического процесса при продувке газа, откачке и т.п. Используются до 8 каналов с независимым или зависимым соотношением расходов. Осуществляется индикация суммарного расхода газа.

	247D четырёхканальный блок. Индикация каналов последовательным переключением. Режимы: независимое поканальное регулирование расхода, пропорциональный смеситель газов, ведомый/ведущий (все каналы зависят от одного, по которому происходит управление).
	647С многоканальный электронный блок, 4 или 8 каналов по расходу и 1 канал по давлению. Управление с помощью меню. Хранение в памяти до 70 газов, их символов и ККРГ. Одновременная индикация всех каналов по расходу и канала по давлению. Управление каналов расхода независимое или в определенном соотношении. Пять конфигураций смесей газов с программируемым ККРГ. Два контакта реле на каждый канал для сигнала тревоги или индикации ухода расхода газа от контрольной точки. Возможность дистанционного управления – порт RS-232 входит в состав прибора. Возможность подачи сигнала на регулятор давления для приведения в действие исполнительного элемента, например, клапана с мотыльковой заслонкой.

СИСТЕМЫ РЕГУЛИРОВАНИЯ И ПОДДЕРЖАНИЯ ДАВЛЕНИЯ

Схема регулирования давления на ВХОДЕ:

В этом случае скорость откачки постоянная, а давление регулируется путем изменения потоков напускаемых газов.

Принцип действия:

Датчик давления Баратрон измеряет давление в камере. Это давление сравнивается с заданной контрольной точкой в ПИД-регуляторе давления. Если идет расхождение между значениями текущего давления системы и заданным давлением, то от ПИД-регулятора давления подается сигнал на регуляторы расхода газа для изменения потока напускаемых газов на входе в систему.

	647С многоканальный электронный блок ПИД регулирования, 4 или 8 каналов по расходу и 1 канал по давлению. Управление с помощью меню. Хранение в памяти до 70 газов, их символов и ККРГ. Одновременная индикация всех каналов по расходу и канала по давлению. Управление каналов расхода независимое или в определенном соотношении. Пять конфигураций смесей газов с программируемым ККРГ. Два контакта реле на каждый канал для сигнала тревоги или индикации ухода расхода газа от контрольной точки. Возможность дистанционного управления – порт RS-232 входит в состав прибора. Возможность подачи сигнала на регулятор давления для приведения в действие исполнительного элемента, например, клапана с мотыльковой заслонкой.
	250 Блок ПИД регулирования расхода или давления газа с возможностью автоматического, ручного или дистанционного управления с оптимизацией по фазе и коэффициенту усиления при замкнутой системе управления. Количество контрольных точек по заказу. Индикация: аналоговая или цифровая (4,5 знакоместа). Принимает сигнал различных датчиков давления. В замкнутой системе регулирования может применяться с клапаном 248 или регуляторами расхода газа. Для регулирования давления в мультиканальных системах применяется вместе с многоканальными электронными блоками регуляторов расхода (например, 247).

Схема регулирования давления на ВЫХОДЕ:

При реализации данной схемы поток напускаемых газов постоянный, а регулировка давления осуществляется путем регулирования скорости откачки.

Принцип действия:

Датчик давления Баратрон измеряет давление в камере. Это давление сравнивается с заданной контрольной точкой в ПИД-регуляторе давления, который управляет регулирующим клапаном, установленным между откачной системой и вакуумной камерой. Регулирующий клапан меняет проводимость канала, идущего от насоса, создавая и поддерживая в камере необходимое для процесса давление независимо от количества газа, поступающего на вход камеры.

651C и 655 Цифровой самонастраивающийся и самоподстраивающийся ПИД-регулятор с автоматическим расчетом параметров регулирования процесса и автоматической перенастройкой в случае их изменения в процессе работы, индикация как по давлению так и по положению заслонки. 5 программируемых контрольных точек, дистанционное управление через RS 232, сигналы TTL, аналоговый выход по напряжению, функция «soft start» для уменьшения турбулентности в камере при запуске. 651С служит для управления клапанами с мотыльковой заслонкой 253 и 653, обеспечивает быстрое и точное регулирование процесса, 655 служит для управления 656 клапаном.

Клапаны регулирования (от атмосферного давления до глубокого вакуума) служат для автоматического или ручного (с регулятором) регулирования, обеспечивают изменение проводимости в большом диапазоне. Легко устанавливаются в оборудование и обладают большой надежностью. Фланцы ASA, CF, ISO, JIS, диаметры от 20 до 320 мм.

	253В Клапаны с мотыльковой заслонкой в комплекте с двигателем. Имеются модели с кольцевой прокладкой заслонки для сохранения герметичности линии. Быстрый отклик, прогрев клапана до 90°С. Совместим с 651, 1651, 252, 1253
	653В Высокоскоростной клапан с мотыльковой заслонкой (открыто/закрыто за 1,7 сек) высокоточного регулирования, возможность прогрева заслонки до 150°С для избежания осаждения осадка на ней, индикатор положения заслонки, совместим с 651 и 1651 блоком. Возможные фланцы ISO, CF.
	656 Регулирующий клапан сильфонного типа с функцией плавного открытия для «мягкой откачки» и отсечной способностью. Не имеет сальниковых уплотнений, может быть поставлен с обогревающей рубашкой в прямоходном и угловом варианте, скорость закрытия 6-10 сек.
	153 Клапан с интегрированным электронным модулем ПИД регулирования и цифровым интерфейсом. При регулировании давления получает цифровые команды от ПК через RS 232 или аналоговые О/10В. Рекомендуется в системах с компьютерным управлением.

Новинки

640 (641) Регулятор давления на базе мини-баратрона и электромагнитного клапана регулирования

Мини-баратрон измеряет абсолютное (относительное) давление с точностью 0,5% от показания. Регулятор позволяет осуществить регулирование давления на входе или выходе из камеры от 0,2 торр до 5000 торр, расход от 1 ст.см^З/мин до 50 ст.л/мин. Регулятор может использоваться как при регулировании на входе, так и на выходе из камеры, при соответствующем подсоединении штуцера «давления», 2 блокировки с индикацией срабатывания. Клапан регулирования НЗ (для безопасности), закрывается в случае отсутствия давления. Подстройка параметров ПИД с помощью встроенных потенциометров, Совместим с эл. Блоками питания и индикации 246,247, 647, 167.

649 Аналог модели 640, но со встроенным измерителем расхода проходящего газа. Упрощает максимально систему регулирования и измерения расхода, необходим в случаях, аналогичных системе охлаждения обратной стороны пластины в микроэлектронике.