Модель	1479D классический РРГ	1480A ALTA цифровой РРГ	MC20 ALTA цифровой высокочастотный РРГ
ВП в азотном эквиваленте	10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm	10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000, 30000 sccm	50, 100, 200 slm
Диапазон измерения	от 2% до 100% от ВП	от 2% до 100% от ВП	от 2% до 100% от ВП
Точность	±1% от ВП	±1% от ВП	±1% от ИВ для диапазона от 25% до 100% ВП ±0,25% до 25% ВП
Воспроизводимость	±0,2% от ВП	±0,2% от ВП	±0,2% от ВП
Изображение
Скачать	Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!)	Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!)	Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!)

 

P4B цифровой, программируемый РРГ	PFC-20 πMFC цифровой РРГ для процессов с низким перепадом давления	PFC-50 πMFC цифровой РРГ	PFC-60 πMFC цифровой РРГ
10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000, 30000, 50000 sccm	2, 5, 10, 20 sccm	5, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000, 30000, 50000 sccm	5, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000, 30000, 50000 sccm
от 2% до 100% от ВП	от 2% до 100% от ВП	от 2% до 100% от ВП	от 2% до 100% от ВП
±1% от ИВ для диапазона от 20% до 100% ВП ±0,2% до 20% ВП	±1% от ИВ для диапазона от 20% до 100% ВП ±0,2% до 20% ВП	±1% от ИВ для диапазона от 20% до 100% ВП ±0,2% до 20% ВП	±1% от ИВ для диапазона от 20% до 100% ВП ±0,2% до 20% ВП
±0,3% от ИВ	±0,2% от ВП	±0,2% от ВП	±0,2% от ВП
Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!)	Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!)	Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!)	Скачать подробное описание в формате PDF (англ. версия!)