ВЫСОКОВАКУУМНЫЕ ТУРБОНАСОСЫ
Компания ADIXEN (ALCATEL VACUUM TECHNOLOGY) уже более 20-ти лет серийно выпускает высоковакуумные турбонасосы для задач, связанных с микроэлектроникой, тонкопленочными технологиями, НИОКР, ядерной физикой и др.
Будучи одним из лидеров в разработке и производстве традиционных молекулярных и турбомолекулярных насосов, ADIXEN ("ALCATEL"), в настоящее время, расширил гамму выпускаемых насосов новыми моделями гибридных насосов на магнитном подвесе.
ADIXEN ("ALCATEL") представляет своим заказчикам очень широкий ряд высоковакуумных насосов, включающий следующие разновидности турбонасосов:
-
Турбомолекулярные (классические) насосы: серия АТР, ряд: 80, 100, 150, 400, 900.
-
Молекулярные насосы: модели MDP5011 и MDP5011CP.
-
Гибридные насосы: серия АТН, ряд: 31, 31+, 31С, 200, 200I, 300, 300CI.
-
Гибридные насосы с магнитным подвесом: серия АТНM, ряд: 400, 1300, 1600, 2300.
Комплект высоковакуумного турбонасоса состоит из следующих компонентов
-
- турбина
-
- контроллер (выполняющий функции преобразователя питания, регулятора оборотов, индикатора состояния)
-
- соединительный кабель между турбиной и контроллером.
Ниже приведены краткие сведения по выпускаемым турбинам.
Полную информацию по турбинам и совместимым с ними контроллерам вы можете найти в разделах, посвященных соответствующим турбонасосам.
Размещая заказ на высоковакуумный турбонасос, пользователь должен понимать, что для правильной работы турбонасоса при откачке с атмосферного или избыточного давления, потребуется форвакуумный насос предварительного разряжения. Например, пластинчато-роторный или многоступенчатый насос Рутса.
Основные параметры, по которым классифицируются турбонасосы
1. Номинальная скорость откачки
2. Максимальное создаваемое разрежение
3. Максимальное рабочее входное давление
4. Максимальное давление старта (потребное разрежение со стороны форвакуумного насоса для начала эффективной работы)
5. Степень компрессии откачиваемого газа на турбине
|
Модель
|
Скорость откачки, л/с
|
Минимальное остаточное давление, мбар
|
Максимальное рабочее входное давление, мбар
|
Максимальное рабочее выпускное давление, мбар
|
Степень сжатия по азоту
|
|
MDP5011
|
7
|
1∙10-6
|
10
|
40
|
1∙109
|
|
MDP5011CP
|
7
|
1∙10-6
|
10
|
5
|
1∙106
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ATH31
|
33
|
1∙10-8
|
1
|
25
|
1∙108
|
|
ATH31C
|
33
|
1∙10-9
|
1
|
45
|
2∙109
|
|
ATH31+
|
33
|
1∙10-9
|
5∙10-1
|
45
|
1∙1011
|
|
ATH200
|
200
|
1∙10-9
|
4∙10-3
|
4
|
1∙109
|
|
ATH200I
|
200
|
1∙10-9
|
4∙10-3
|
4
|
1∙109
|
|
ATH300
|
300
|
1∙10-9
|
1∙10-1
|
10
|
1∙109
|
|
ATH300CI
|
300
|
1∙10-9
|
1∙10-1
|
10
|
1∙109
|
|
|
|
ATP80
/ ATP80C
|
80
|
5∙10-9
|
1∙10-1
|
2∙10-1
|
8∙107
|
|
ATP100 / ATP100C
|
100
|
5∙10-9
|
1∙10-1
|
3∙10-1
|
8∙107
|
|
ATP150 / ATP150C
|
140
|
5∙10-10
|
1∙10-1
|
4∙10-1
|
7∙108
|
|
ATP400 / ATP400C
|
400
|
8∙10-10
|
2∙10-2
|
2∙10-1
|
7∙108
|
|
ATP900 / ATP900C
|
900
|
5∙10-10
|
1∙10-2
|
3∙10-1
|
1∙109
|
|
|
|
ATP400HPC
|
380
|
5∙10-8
|
1∙10-1
|
6∙10-1
|
7∙106
|
|
ATP900 HPC
|
700
|
5∙10-8
|
2∙10-2
|
4∙10-2
|
1∙107
|
|
|
|
ATH400M /
ATH400MT
|
410
|
8∙10-9
|
1
|
2
|
1∙107
|
|
ATH1300M /
ATH1300MT
|
1250
|
8∙10-9
|
0,5
|
1,5
|
1∙107
|
|
ATH1600M /
ATH1600MT
|
1500
|
6∙10-9
|
0,2
|
1,5
|
6∙107
|
|
ATH2300M /
ATH2300MT
|
2100
|
4∙10-9
|
0,15
|
1,5
|
1∙108
|
Дополнительные параметры турбонасосов, определяющие выбор модели
-
Ду (диаметр и тип присоединительных фланцев)
-
Тип охлаждения (без охлаждения, воздушный, водяной)
-
Тип подвески ротора (определяет срок до первого обслуживания)
-
Тип контроллера (полнофункицональный, интегрируемый и т.д.)
-
Исполнение: общего применения, химстойкое и т.д.
Контроллеры
Контроллеры (полнофункциональные) турбонасосов предназначены для преобразования сетевого питания в рабочие напряжение и частоту турбины. Они обеспечивают включение насоса, его выключение, индикацию основных рабочих параметров, возможность дистанционного управления турбиной от ПК или PLC, считывание текущих параметров через цифровой интерфейс или аналоговые сигналы и др.
Компания ADIXEN (ALCATEL VACUUM TECHNOLOGY) для некоторых моделей турбонасосов поставляет не только полнофункциональные корпусные контроллеры, но и ряд их модификаций:
- бескорпусные интегрируемые - без индикации, но с набором команд для дистанционного управления и интерфейсом (предназначены для встраивания контроллера в более глобальную систему управления вакуумной установкой с обеспечением индикации и сигнализации не средствами контроллера, а центральным контроллером или ПК)
- упрощённые бескорпусные контроллеры (обеспечивают главное - основной режим работы, остальные возможности в зависимости от модификации)
