900 серия Вакуумметров  MKS Instrument

900 серия  MKS Instrument,  созданная на базе современных технологий MEMS (Микро Электромеханические Системы), в сочетании с Mini Ion BA и Сold Сathode Inverted Magnetron технологиями, предлагает пользователям на выбор Вакуумметры в диапазоне измерения от атмосферного давления до сверхвысокого вакуума. Разработанные для применения в широком круге интегрированных задач, Вакуумметры представляют собой полностью автономную микропроцессорную систему с аналоговым и цифровым (RS485 и RS 232) интерфейсом. Цифровой интерфейс позволяет отслеживать значения и проводить все настройки в реальном времени с компьютера пользователя.
 

		Вакуумметр MicroPirani/Piezo Cерии 901 Plus Сочетание в одном компактном корпусе двух сенсоров (MicroPiraniTM, Differential Piezo), позволяет измерять и задавать до трёх уставок (точки переключения контактов встроенного реле) в диапазоне от 10-5 до 1000 Торр абсолютного и от -760 до +760 Торр относительного давления. Разработанный для применения в шлюзовых и загрузочных  камерах вакуумметр обеспечивает высокую точность измерения при работе в условиях переменного давления  и выдерживает перегрузку до 1500 Торр.
		Вакуумметр MicroPirani Серии 925 Надёжный принцип работы, основанный на изменении конвективной теплопроводности,  в сочетании с запатентованной MKS Instumants технологией производства сенсора MicroPiraniTM позволили  расширить на два порядка диапазон измерения, от 10-5 Торр до атмосферы, по сравнению со стандартными датчиками Pirani. Вакуумметры 925 Серии позволяют задавать три/одну уставки.
		Вакуумметр DualTrans MicroPirani/Absolute Piezo Серии 910 Сочетание в одном компактном корпусе двух сенсоров (MicroPiraniTM , Absolute Piezo), позволяет измерять и задавать до трёх уставок в диапазоне от 10-5 до 1500 Торр. В этом случае единый сглаженный выходной сигнал обеспечивают: в диапазоне от 1500 Торр до 15 Торр - Absolute Piezo (абсолютный сенсор давления), в диапазоне от 15 Торр до 10-5 Торр - MicroPiraniTM (тепловой сенсор Pirani).
		Вакуумметр Absolute Piezo Серии 902 Независимо от рода газа Piezo сенсор с интегрированной электроникой и температурной компенсацией позволяет измерять с высокой точностью в абсолютных величинах давление в диапазоне < 1 до 1000 Торр. Датчики Серии 902 отличаются высокой коррозионной стойкостью и точностью измерения.
		Вакуумметр высоковакуумный Mini Ion BA Серии 909AR Принцип действия, основанный на пропорциональности между величинами давления и ионного тока в ионизуемом термоэлектронами газе, позволяет измерять давление в диапазоне от 10-2 до 10-10 Торр.  Источником термоэлектронов является Иридиевая нить накала с иттриевым покрытием. Автоматическая функция дегазации предохраняет нить накала от перегорания и увеличивает срок службы.
		Вакуумметр  AVT (Атмосфера-Вакуум) Серии 979 Сочетание в одном компактном корпусе двух сенсоров (MicroPiraniTM, Mini Ion BA) обеспечивает диапазон измерения от 10-10 Торр до атмосферы.
		Вакуумметр UniMag Серии 971 Магниторазрядный сенсор обеспечивает диапазон измерения от 10-8 до 5*10-3 Торр.
		Вакуумметр DualMag Серии 972 Сочетание в одном корпусе двух сенсоров (Сold Сathode Inverted Magnetron и MicroPiraniTM) обеспечивает диапазон измерения от 10-8 Торр до атмосферы.
		Вакуумметр QuadMag Серии 974 Измерения вакуума с возможностью перехода через атмосферу, диапазон измерения от 10-8 до 1500 Торр. В одном корпусе размещены три сенсора - Сold Сathode Inverted Magnetron, MicroPiraniTM, Piezo.
		Вакуумметр широкодиапазонный Серии 999 QuattroTM Полное решение задачи измерения вакуума с возможностью перехода через атмосферу, диапазон измерения от 10-10 до 1000 Торр. В одном компактном корпусе размещены четыре сенсора - MicroPiraniTM, Absolute и Differential Piezo, Mini Ion BA.
		Магниторазрядный вакуумметр Серии 903 I-MagTM Благодаря принципу инвертированного магнетрона, данная серия вакуумметров предлагает более широкий диапазон измерения, в сравнении с обычными пеннинговскими вакуумметрами.
		Блок питания/индикации PDR900 Подходит для работы со всеми вакуумметрами серии 900. LCD дисплей. Три уставки. Подключение вакуумметров по принципу plug-and-play. Встроенная процедура течеискания. Питание 100..240 В, 50..60 Гц.
		Интегрированный дисплей Датчики давления серий 901, 925, 970 могут быть оснащены интегрированным LED дисплеем с изменяемой ориентацией показаний. На дисплее отображаются: давление, направление изменения давления, статус реле, единицы измерения, тип сенсора.

Технические характеристики

Серия	901P	925	910	902	909AR
Диапазон измерения	10-5 до 1000 Торр	10-5 до Атмосферы	10-5 до 1500 Торр	<1 до 1000 Торр	3∙10-10 до 5∙10-2 Торр
Рабочая температура	0ºС до 40ºС	0ºС до 40ºС	0ºС до 40ºС	0ºС до 50ºС	0ºС до 40ºС
Максимальная температура отжига	85ºС, датчик не работает	85ºС, датчик не работает	85ºС, датчик не работает	85ºС, датчик не работает	300ºС с CF 150ºС с ISO со снятой электроникой
Интерфейс	RS485/RS232	RS485/RS232	RS485/RS232	RS485/RS232	RS485/RS232
Аналоговый  сигнал	1...9 В, 1 В/Декада	1...9 В, 1 В/Декада	1...9 В, 1 В/Декада	0-5 или 0-10 В, линейный или логарифм-кий	0-10 В, 1 В/Декада
Питание	9-30 В, <1,2 Вт	9-30 В, <1,5 Вт	9-30 В, <1,5 Вт	12-30 В, <0,5 Вт	24 В, 15 Вт
Погрешность измерения	10-4...10-3 Торр ±10% 10-3...100 Торр ±5% 100 Торр...Атм. ±25%	10-4...10-3 Торр ±10% 10-3...100 Торр ±5% 100 Торр...Атм. ±25%	10-4...10-3 Торр ±10% 10-3...50 Торр ±5% 50...1000 Торр ±1%	<1% от сч. значения	±20% от сч. значения

Технические характеристики

Серия	971	972	974	979	999	903
Диапазон измерения	10-8 до 5∙10-3 Торр	10-8 до Атмосферы	10-8 до 1500 Торр	5∙10-10 до Атмосферы	5∙10-10 до 1000 Торр	3∙10-10 до 5∙10-3 Торр
Рабочая температура	0ºС до 40ºС	0ºС до 40ºС	0ºС до 40ºС	0ºС до 40ºС	0ºС до 40ºС	0ºС до 50ºС
Максимальная температура отжига	85ºС, датчик не работает	85ºС, датчик не работает	85ºС, датчик не работает	85ºС, датчик не работает	85ºС, датчик не работает	400ºС с CF 150ºС с ISO со снятой электроникой
Интерфейс	RS485/RS232	RS485/RS232	RS485/RS232	RS485/RS232	RS485/RS232	Аналог
Аналоговый  сигнал	0,5...7 В, 0,5 В/Декада	0,5...7 В, 0,5 В/Декада	0,5...7 В, 0,5 В/Декада	0,5...7 В, 0,5 В/Декада	0,5...7 В, 0,5 В/Декада	1,5...8,7 В, логарифм-кий
Питание	9-30 В, <2 Вт	9-30 В, <2 Вт	9-30 В, <2 Вт	24 В, 15 Вт	24 В, 15 Вт	14-30 В, <3 Вт
Погрешность измерения	±30% от сч. значения	10-8...10-3 Торр ±30% 10-3...100 Торр ±5% 100 Торр...Атм. ±25%	10-8...10-3 Торр ±30% 10-3...50 Торр ±5% 50...1000 Торр ±1%	10-9...10-3 Торр ±20% 10-3...100 Торр ±5% 100 Торр...Атм. ±25%	10-9...10-3 Торр ±20% 10-3...50 Торр ±5% 50...1000 Торр ±1%	±25% от сч. значения