Турбомолекулярные насосы серии АТР

Турбомолекулярный насос серии ATP

Турбомолекулярный насос серии АТР представляет собой молекулярный насос, на валу ротора которого закреплены диски с лопатками, вращающиеся между соответствующими дисками статора. Это традиционный турбомолекулярный насос, конструкция которого отточена до совершенства. Турбомолекулярные насосы этой серии нашли самое широкое применение в большинстве задач, связанных с получением глубокого и чистого вакуума.

Турбомолекулярные насосы серии АТР выпускаются в трех исполнениях:
- общего применения
- химстойкого (с индексом «С»)
- химстойкого высокого давления (с индексом «НРС»).

В турбомолекулярных насосах серии АТР ротор насоса закреплен с применением керамических подшипников, обеспечивающих очень длительную эксплуатацию. Ротор вращается на рабочем режиме с относительно невысокой скоростью (27000 об/мин), что обеспечивает турбомолекулярному насосу существенно больший ресурс. Рабочее положение турбины в пространстве - произвольное.

Информация: износ подшипников турбомолекулярного насоса пропорционален кубу частоты вращения ротора, иными словами, с увеличением скорости вращения в 2 раза ресурс уменьшается в 8 раз.

Турбомолекулярные насосы серии ATP

Задачи, в которых традиционно используют турбомолекулярные насосы серии АТР общего применения:

имитация космоса
напыление тонких пленок
вакуумирование электронных ламп
сверхвысоковакуумные установки
ускорители частиц
ионные источники
поверхностный анализ
масс-спектрометрия
электронный сканирующий микроскоп
течеискание

Турбомолекулярные насосы общего применения ATP80, ATP100, ATP150, ATP400, ATP900

Турбомолекулярные насосы серии АТР обеспечивают производительность от 80 до 900 л/сек и предельное разряжение до 10^-10 Торр.

Вид в сечении турбомолекулярного насоса

Таблица технических характеристик турбомолекулярных насосов общего применения серии АТР.

Характеристика		Ед. изм.	АТР 80	АТР 100	АТР 150	АТР 400	АТР 900
Изображение турбомолекулярного насоса
Фланец на всасывании			DN63 ISO-K или CF-F	DN100 ISO-K или CF-F	DN100 ISO-K или CF-F	DN160 ISO-K или CF-F	DN200 ISO-K или CF-F
Скорость откачки по:	N₂	л/с	80	100	140	400	900
	He	л/с	50	60	100	300	540
	H₂	л/с	40	40	80	250	300
Степень сжатия по:	N₂		8∙10⁷	8∙10⁷	7∙10⁸	7∙10⁸	1∙10⁹
	He		2500	2500	12000	15000	2∙10⁴
	H₂		300	300	1000	1000	2000
Минимальное остаточное давление (1), (2)		мбар	5∙10^-9	5∙10^-9	5∙10^-10	8∙10^-10	5∙10^-10
Максимальное давление на всасывании (2)		мбар	1∙10^-1	1∙10^-1	1∙10^-1	2∙10^-2	2∙10^-2
Максимальное давление на выхлопе (2)		мбар	2∙10^-1	3∙10^-1	4∙10^-1	2∙10^-1	3∙10^-1
Требуемая модель (минимальная) форвакуумного турбомолекулярного насоса, серия "Pascal"			2005	2005	2005	2015	2021
Рабочее положение			Любое
Скорость вращения ротора		об/мин	27 000
Время запуска, мин			1,45	1,45	2	3	3
Максимальная рабочая температура окружающего воздуха		°C	Турбина 50°C / Контроллер 40°C
Выхлопной фланец			DN25	DN25	DN25	DN40	DN40
Вес (естественная вентиляция) ISO-K CF-F		кг	3 4,3	3 4,3	--	--	--
Вес (принудительная вентиляция) ISO-K CF-F		кг	4 5,3	4 5,3	6,5	6,5	17,5 18,5
Вес (водяное охлаждение) ISO-K CF-F		кг	3,4 4,4	3,5 4,7	9	9	17 18
Контроллер			ACT200T OEM	ACT200T OEM	ACT600T ACT250	ACT600T ACT250	ACT 1000T
Вес контроллера		кг	2,6	2,6	4	4	8,8
Контроллер в стойку		Rack	¼	¼	½	½	½
Максимальное энергопотребление		Вт	100	100	300	300	800

(1) Измерено по стандарту Pneurop при выхлопном давлении ниже 10^-2 мбар
(2) Модель водяного охлаждения с фланцами CF-F

Давление на выходе турбомолекулярного насоса серии ATP Турбомолекулярный насос серии ATP

Кривые скорости откачки в зависимости от давления на входе турбомолекулярных насосов ATP

Химстойкие турбомолекулярные насосы серии АТР "C", "HPC"

Турбомолекулярные насосы спроектированы для работы с коррозионно-активными газами, в том числе и в полупроводниковой промышленности. Насосы имеют вход для продувки инертным газом для предотвращения воздействия откачиваемых газов на подшипники. Кроме того, в конструкцию турбомолекулярных насосов заложено специальное обратное динамическое уплотнение, которое минимизирует количество химически активных газов, достигающих подшипники даже в том случае, когда отсутствует продувка (например, на этапе калибровки технологического процесса). Насосы серии «HPC» снабжены водяным нагревом до 65^оС, для предотвращения конденсации парогазовых откачиваемых смесей на внутренних частях насоса.

Турбомолекулярный насос серии ATP в сечении

Турбомолекулярный насос серии ATP вид в сечении версия «С» (слева) и «HPC» (справа)

Кривые скорости откачки в зависимости от давления на входе турбомолекулярных насосов ATP
"C" (слева) и "HPC" (справа)

Таблица технических характеристик турбомолекулярных насосов серии АТР «С», «НРС»

Характеристика		Ед. изм.	АТР 80 С		АТР 100 С	АТР 150 С	АТР 400 С	АТР 900 С	АТР 400 HPC		АТР 900 HPC
Фланец на всасывании			DN63 ISO-K или CF-F		DN100 ISO-K или CF-F	DN100 ISO-K или CF-F	DN160 ISO-K или CF-F	DN200 ISO-K или CF-F	DN160 ISO-K или CF-F		DN200 ISO-K или CF-F
Скорость откачки по:	N₂	л/с	80		100	140	400	900	380		700
	He	л/с	50		60	100	300	540
	H₂	л/с	40		40	80	250	300
	Ar								430		785
	SF₆								430		785
Степень сжатия по:	N₂		8∙10⁷		8∙10⁷	7∙10⁸	7∙10⁸	1∙10⁹	7∙10⁶		1∙10⁶
	He		2500		2500	12000	15000	2∙10⁴
	H₂		300		300	1000	1000	2000	100		200
	Ar								700		2∙10³
Минимальное остаточное давление без продувки (1), (2)		мбар	5∙10^-9		5∙10^-9	5∙10^-10	8∙10^-10	5∙10^-10	5∙10^-⁸
Минимальное остаточное давление с продувкой (2)		мбар	5∙10^-8		5∙10^-8	1∙10^-7	1∙10^-7	1∙10^-7	8∙10^-⁶		5∙10^-⁵
Расход азота на продувку		ст.см³/мин	50
Максимальное давление на всасывании (2)		мбар	1∙10^-1		1∙10^-1	1∙10^-1	2∙10^-2	2∙10^-2	1∙10^-1		1∙10^-²
Максимальное давление на выхлопе (2)		мбар	2∙10^-1		3∙10^-1	4∙10^-1	2∙10^-1	3∙10^-1	6∙10^-1		4∙10^-²
Требуемая модель (минимальная) форвакуумного турбомолекулярного насоса, серия "Pascal"			2005 С2		2005 С2	2021 С2	2033 С2	2063 С2
Рабочее положение			Любое
Скорость вращения ротора		об/мин	27 000
Время запуска, мин			1,45	1,45		2	3	3		2
Максимальная рабочая температура окружающего воздуха		°C	Турбина 50°C / Контроллер 40°C
Выхлопной фланец ISO-KF			DN25	DN25		DN25	DN40
Фланец продувки ISO-KF			DN16

Контроллеры ACT 200 T, ACT 600 T, ACT 1000 T

Контроллеры оснащены LCD дисплеем. Отображение текущей скорости вращения ротора и потребляемой мощности, температуры насоса и контроллера, срок службы, сбои в работе. Контроль скорости вращения ротора, напуска воздуха, автостарт, задержка старта, расписание обслуживания. Интерфейс RS232/485. Удаленное управление. Внешние входы: удаленный старт/стоп, режим ожидания. Внешние выходы: запуск насоса, насос на скорости, режим ожидания, вентиляционный клапан открыт/закрыт, подача питания на вентиляторы воздушного охлаждения.