Безмасляные форвакуумные насосы для полупроводниковой промышленности серии ADP/ADS

Ожидания заказчика...
В полупроводниковой промышленности неправильный
выбор откачных систем может повлиять на:

• производительность (перерывы в производственном
  процессе из-за поломок насосов)
• расходы на бракованную продукцию (потери
  полупроводниковых пластин в производстве или во время
  контроля качества вследствие неполадок с насосом)
• расходы на техобслуживание (неподходящие размеры
  насосов и трубопроводов могут привести к малому
  времени работы между чистками)
• безопасность (из-за утечки из насосов опасных газов)
• наличие дефектов на полупроводниковых пластинах
  вследствие загрязнения с обратным потоком
• и т.д.

Более чем десятилетний опыт производства,
испытаний и проверенных практикой
конструкторских решений, позволил
компании «Alcatel» предложить
новое поколение безмасляных вакуумных
насосов, объединивших в себе накопленный
огромный опыт и знания для обеспечения
оптимизированных решений в этой области техники.

Как уменьшить НЕЗАПЛАНИРОВАННОЕ ВРЕМЯ ПРОСТОЕВ,
связанное с вакуумными системами              ???

Þ

Как уменьшить ОБЩИЕ ЭКСПЛУАТАЦИОННЫЕ РАСХОДЫ с тем,
чтобы повысить прибыльность предприятия              ???

Þ

Как оптимально РАЗМЕСТИТЬ насосы так,
чтобы высвободить пространство для дополнительной
единицы оборудования и облегчить доступ к насосам               ???

Þ

В некоторых процессах ПРОНИКНОВЕНИЕ ЧАСТИЦ С ОБРАТНЫМ ПОТОКОМ из насоса может повысить уровень дефектности полупроводниковых пластин.

Как можно улучшить ситуацию              ???

Þ

Как можно исключить потребность в СПЕЦИАЛЬНЫХ НАСОСАХ
для специализированных процессов              ???

Þ

ВЫСОКАЯ НАДЕЖНОСТЬ

Насосы второго поколения обладают повышенной НАДЕЖНОСТЬЮ благодаря:

    оптимизации конструкции входных и выхлопных магистралей с использованием моделирующих систем компании АDIXEN («Alcatel»)

    оптимизированной, проверенной  на практике конструкции пяти ступенчатого насоса Рутса и системе терморегулирования

    огромной наработке на отказ, подкрепленной практикой установки на идентичных процессах

НИЗКИЕ РАСХОДЫ НА ЭКСПЛУАТАЦИЮ

Насосы второго поколения имеют значительно более НИЗКИЕ ЭКСПЛУАТАЦИОННЫЕ РАСХОДЫ с пониженным потреблением ресурсов, и повышенным временем функционирования между перерывами на техобслуживание и минимальными расходами на его проведение.

КОМПАКТНОСТЬ

Насосы второго поколения имеют компактный дизайн с возможностью УСТАНОВКИ В ВЕРТИКАЛЬНОМ ПОЛОЖЕНИИ, что дает НАИМЕНЬШУЮ ПОТРЕБНУЮ ДЛЯ РАЗМЕЩЕНИЯ ПЛОЩАДЬ по сравнению с насосами других компаний.

ТЕХНИЧЕСКОЕ СОВЕРШЕНСТВО

Для работы в  таких процессах, насосы второго поколения компании АDIXEN («Alcatel») имеют ПОВЫШЕННУЮ СКОРОСТЬ ОТКАЧКИ при пониженном давлении, повышая тем самым скорость газа и понижая парциальное давление газов, выделяющихся в производственном процессе, и, следовательно, УМЕНЬШАЯ ЗАГРЯЗНЕНИЕ.

УПРАВЛЯЕМОСТЬ И БЕЗОПАСНОСТЬ

Потребность в специализированных для какого-либо процесса насосах отпадает при наличии гаммы насосов второго поколения компании АDIXEN («Alcatel»).

Конструкция насосов второго поколения вобрала в себя опыт десятилетнего анализа работы насосов у крупнейших производителей полупроводников.
Некоторые базовые характеристики наших насосов подтвердили правильность их выбора при работе в тяжелых производственных процессах:

 широкие каналы между ступенями откачки способны поглотить большие количества пыли и частиц

 высокая рабочая температура с точной системой терморегулирования с обратной связью, и линейным повышением температуры от входа к выходу

 вертикальный процесс откачивания на каждой ступени, который препятствует скоплению частиц пыли в зонах вращения ротора насоса.

 
 Отсутствие покрытия внутренних частей означает устранение риска загрязнения частицами и дорогостоящих крупных капитальных ремонтов.

Разрез безмасляного форвакуумного насоса ADP:
основные принципы
процесса откачки

 Использование литой стали и специальных сплавов для изготовления компонентов насоса обеспечивает более высокую коррозионную стойкость и механическую прочность.

единицы измерения

ADP 122

ADS 602

ADS 1202

ADS 1802

Максимальная скорость откачки 50 Гц

м³/час
л/мин

95
1583

480
8000

1050
17500

1700
28333

Остаточное давление
50 Гц (без продувки)

мбар
торр

3∙10^-2
2,2∙10^-2

2∙10^-3
1,5∙10^-3

2∙10^-3
1,5∙10^-3

9∙10^-4
6,7∙10^-3

Остаточное давление
50 Гц (с продувкой)

мбар
торр

9∙10^-2
6,7∙10^-2

9∙10^-3
6,7∙10^-3

9∙10^-3
6,7∙10^-3

6∙10^-3
4,5∙10^-3

Мощность мотора

кВт

1,5

3

5,2

7,5

Потребление энергии на предельном давлении 50 Гц

кВт

1,3

1,8

3

3,5

Поток охлаждающей воды

л/мин

1

1

1,3

5

Впускной клапан

DN 50

DN 100

DN 100

DN 100

Выпускной клапан

DN 40

DN 40

DN 40

DN 40

Размеры

Длина, мм
Ширина, мм
Высота, мм

830
390
580

830
390
875

995
390
975

1110
390
975

Вес

кг

243

378

522

540

Потребление азота

0 для версий LM, в зависимости от применения для версий Н и Р

LM

P

H

скорость откачки

Загрузочные шлюзы
Шлюзовые камеры
PVD напыление

Озоление - стриппинг
Травление - ионная имплантация - процесс химического осаждения из газовой фазы (CVD)

Плазмохимическое осаждение из газовой фазы
Химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении

100 м³/ч
2 000 л/мин

ADP 122 LM

ADP 122 Р

600 м³/ч
10 000 л/мин

ADS 602 LM

ADS 602 Р

ADS 602 Н

1200 м³/ч
20 000 л/мин

ADS 1202 Р

ADS 1202 Н

1800 м³/ч
30 000 л/мин

ADS 1802 Р

ADS 1802 Н

Размеры ADP 122

Размеры ADS 602

Z = задний просвет для подключения коммуникаций

   = 83 мм при вертикальном подключении коммуникаций

   = 260 мм при горизонтальном подключении коммуникаций

1.  Входной патрубок

2а. Положение выходного патрубка

2b. Альтернативное расположение выходного патрубка

3а. Положение патрубков азота и воды

3b. Альтернативное расположение патрубков азота и воды

4а. Основное место подключение шнура питания

4b. Альтернативное место подключения шнура питания

5. Положение крышки выпускного отверстия (Ø100 мм)

Кривые скорости откачки

Кривые скорости откачки

Размеры ADP 1202

Размеры ADS 1802

Z = задний просвет для подключения коммуникаций

   = 260 мм при горизонтальном подключении коммуникаций

1.  Входной патрубок

2а. Положение выходного патрубка

3а. Положение патрубков азота и воды

4а. Основное место подключение шнура питания

5. Положение крышки выпускного отверстия (Ø 100 мм)

Кривые скорости откачки

Кривые скорости откачки