|
|
|
ВСТРАИВАЕМЫЙ СУХОЙ НАСОС
|
|
Особенности
|
|
|
|
|
| возможность прямого интегрирования в оборудование |
→
|
нет необходимости в длинных форвакуумных линиях, что снижает затраты на установку и подключение
|
|
|
| компактность + быстрота действия - 100 м3/ч |
→
|
замена удаленных откачных систем с производительностью до 500 м3/ч |
|
|
| низкий уровень шума |
→
|
конструктивное исполнение для работы в чистых помещениях |
|
|
| энергоэффективность |
→
|
снижение затрат производства |
|
|
| высокая надежность |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Области применения
• шлюзы, загрузочные камеры
• передаточные камеры
• PVD
• SEM
• камеры предварительной обработки/очистки
• камеры отжига
|
|
Характеристики
• быстрота действия - 100 м3/ч
• предельное давление - 5*10-3 Торр
• потребляемая мощность - 1,6 кВт
• уровень шума - 55 dBA
• габариты - 600х280х300 мм
|
