ПОРТАТИВНАЯ АНАЛИТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА (ПАС)
Уникальное решение для оптимизации Ваших процессов.

Компания MKS Instruments представляет уникальную мобильную масс-спектрометрическую систему, построенную на базе квадрупольного масс-спектрометра. Этот уникальный инструмент является полностью законченной и самостоятельной системой, не требующей для своей работы дополнительного оборудования и позволяет: проводить оптимизацию существующего технологического процесса проводить оптимизацию при переносе (масштабировании) технологии с лабораторного на промышленный уровень проводить анализ базового вакуума в установках осуществлять он-лайн мониторинг уровня загрязнений и очистки технологических камер проводить проверку качества газов используемых в технологическом процессе проводить проверку герметичности вакуумных камер и многое другое

Базовым элементом системы являются масс-спектрометры серии Vision 1000-E или Vision 1000-C, позволяющие проводить анализ технологических процессов (PVD, все разновидности CVD, включая MECVD,PECVD, LP-HPCVD, травление) в широком диапазоне давлений от атмосферного давления до базового вакуума, включая высокотемпературные процессы. Система имеет опцию продувки и прогрева для минимизации влияния эффектов памяти  фона на анализ, характеризуется высокой устойчивостью к загрязнениям, может работать в чистых помещениях.

Основные технические характеристики: Масс-спектрометр: Базовое давление - макс. 0,1 Торр Рабочее давление (давление процесса) - определяется пользователем от 1 Атм. До 10-7 торр. Диапазон детектируемыз масс - 1-300 а.е.м. Стабильность работы -  лучше чем ±0,1 а.е.м  в течение 8 часов Разрешающая способность лучше чем 10% между пиками одинаковой высоты на всем диапазоне масс. Минимальная детектируемая концентрация < 200 ppb (частиц на миллиард) Закрытый ионный источник Независимо заменяемые катоды. Детектор - чаша Фарадея+умножитель вторичных электронов. Интерфейс - TCP/IP, RS232 Вакуумная система: Входной фланец - DN40 CF (или на выбор пользователя CF/ISO-KF) Турбмолекулярный насос - 60 л/с. Блок клапанов UniBloc Автоматический вакуумный контроллер полностью интегрированный в систему. Базовое давление (после прогрева) 5х10-9 Торр. Температура обезгаживающего прогрева до 200оС. Нагреватель интегрирован. Програмное обеспечение: Process Eye Professional - платформа с полной сетевой совместимостью работающая под ОС Windows. Обеспечивает полный контроль над масспектрометром, визуализацию информации и т.д. Мобильное шасси: Выполнено из нержавеющей стали. Занимаемая площадь - 455х604 мм. Предусмотрен специальный столик для установки портативного компьютера.