MultiGas^TM Purity быстродействующий детектор остаточных примесей

Анализатор MultiGas Purity на базе Фурье-спектрометра способен выявлять загрязняющие вещества на уровне ppb в высокочистых технологических газах. Использование этого анализатора уже позволило улучшить качество производства газов, таких как NH3, NF3 и водород. Анализатор MultiGas Purity состоит из Фурье-спектрометра 2102 Process FTIR, кюветы для образцов с высокой оптической пропускной способностью и специализированного программного обеспечения для анализа. Эти объединенные компоненты вместе с возможностью автоматического осушения обеспечивают несравнимую точность и правильность результатов мониторинга загрязняющих веществ в газах.

Возможности и преимущества

• Интерактивный, работающий в режиме реального времени детектор чистоты технологических газов
• Определение примесей на уровне ppb в технологических газах, таких как NH₃, NF₃ и H₂
• Сконструирован для агрессивных, высокочистых газов (газовая кювета и линия подвода образцов изготовлена из свариваемой нержавеющей стали 316, нагреваемый оптический путь устраняют образование влажности и атмосферных загрязнений, автоматическая процедура обезгаживания прогревом)
• Анализатор с высоким разрешением обращает свертку перекрывающихся спектров и делает возможным видообразование примесей в газе
• Программное обеспечение со специальной установкой «нуля» и автоматической калибровкой

Применения

• Непрерывный мониторинг остаточных загрязнений в высокочистых газах в производственной среде, включая:
  - H₂O, CO, CO₂, N₂O и CH₄ в NH₃
  - H₂O, CO, CO₂, N₂O и HF в NF₃
  - H₂O, CO, CO₂, HF, HCI, NH₃, CH₂CI₂ и CHCI₃ в H₂
  - H₂O, CO, CO₂, CH₄ и NH₃ в N₂O

Фурье-спектрометр 2102 Process FTIR

Компактный и надежный спектрометр 2102 Process FTIR разработан специально для мониторинга окружающий среды и технологических процессов. Способный работать с разрешением до 0,5 см-1 он является самым быстрым, наиболее чувствительным и стабильным Фурье-спектрометром ИК диапазона. Кроме того, он может работать с агрессивной средой с высокой степенью невосприимчивости к вибрациям и перепадам температуры. Современная, быстродействующая система обработки данных является стандартной и предоставляет для анализа ИК спектры с низким уровнем шумов.

газовая кювета с оптической длиной пути 5,11 м и объемом 200 мл имеет размеры 8-1/2" x 2" x 3-1/2" и запатентованную оптику с коррекцией аберраций для максимальной чувствительности

Этот спектрометр связан с малообъемной (200 мл) многопроходной газовой кюветой, имеющей эффективный оптический путь 5,11 м. Запатентованный дизайн кюветы включает асферические зеркала с коррекцией аберраций, которые обеспечивают более чем двукратную оптическую пропускную способность обычной многопроходной газовой кюветы. Чтобы обеспечить оптимальную чувствительность, во время анализа чистоты газа проводится мониторинг его давления и температуры. Для возможности использования в высокочистых применениях тело газовой кюветы изготовлено из никелированной нержавеющей стали 316. Газовые впускные и выпускные фланцы также из нержавеющей стали 316 и имеют соединения VCR®.  Вдобавок, запатентованная технология имеет грязеотталкивающие уплотнение для окон и зеркал. Анализатор также обладает возможностью автоматического обезгаживания прогревом. Эта процедура требует нажатия лишь одной кнопки.

Спектральный анализ

спектр аммиака в области определения уровня воды	Анализатор MultiGas 2030 обладает надежным программным обеспечением для количественного анализа, которое может анализировать и выдавать отчет о концентрациях примесей. Температура и давление газа поддерживаются на определенном уровне и контролируются во время флуктуаций в технологическом процессе.
высокое разрешение позволяет устанавливать различие между спектрами воды и NF3	Используя современный спектральный анализ MultiGas может обеспечить высокую точность экспериментальных данных без изменений базовой линии или дрейфа показаний прибора. Интерферограммы регистрируются с высоким разрешением, восстанавливаются из свёртки, а затем сравниваются со спектром образца для определения компонентов спектра. Эти спектры вместе с калибровочными кривыми (для примесей) используются для установления уровня концентраций примесей. Данный анализ полностью автоматизирован и осуществляется классическим методом регрессии наименьших квадратов. Формат вывода данных на экран включает историю концентраций (временные зависимости концентраций) в графическом и табличном видах, измеренный и остаточный спектры.
остаточные спектры: результат вычитания калибровки из спектра образца демонстрирует качество анализа	Остаточный спектр является визуальным указателем возможных количественных ошибок, что облегчает процедуру контроля и гарантии качества. Они представляет собой «остаток» спектральной информации после того, как из всех опорных спектров были вычтены их вычисленные значения.  Зарегистрированные и записанные в память эти спектры в любое время могут быть использованы с тем же или иным набором калибровочных параметров.
Калибровка системы
графический пользовательский интерфейс для калибровки	Программное обеспечение MultiGas обладает многоточечными калибровочными кривыми, которые минимизируют ошибки благодаря спектральной нелинейности. Данные калибровочные кривые входят в комплект поставки каждого прибора. Специальные программные утилиты контролируют работу прибора для предотвращения дрейфа калибровки.

Характеристики ИК Фурье-анализатора MultiGas^TM Purity 

Анализатор
Метод измерений	Инфракрасная Фурье-спектрометрия
Измеряемые газы и пары	Большинство молекул, кроме N2, H2 и O2
Диапазон измерений концентрации	от 10 ppb до 100%
Модель Фурье-спектрометра	2102 Process FTIR
Спектральное разрешение	0,5 - 128 см-1
Скорость сканирования	2 скан/сек при разрешении 0,5 см-1
Время сканирования	1 -300 сек
ИК источник	карбид кремния SiC (12000C)
Опорный лазер	гелий-неоновый (15798,2 см-1)
Детектор (приемник)	MCT - Mercury-Cadmium-Telluride (КРТ - Кадмий-Ртуть-Теллур) охлаждаемый жидким азотом или с термоэлектрическим охлаждением
Давление продувки	20 psig (1,5 бар) макс.
Поток продувки спектрометра	4 л/мин сверхчистого азота
Поток продувки оптики	4 л/мин сверхчистого азота
Датчик давления	Баратрон
Фланцы подключения продувки	Swagelok
Требования к компьютеру	настольный или ноутбук Intel Pentium® PC с Microsoft® Windows® 95/98/NT/2000/Me/XP и XGA монитором (1024 x 768)
Протокол	скрещенный Ethernet RJ-45
Выходные сигналы	аналоговый, DDE выход, RS232
Габаритные размеры	17,5" x 12,5" x 25,5"
Установка	19" дюймовый, монтируемый в стойку
Электропитание	120 или 240В, 50/60Гц, 3А
Вес	57 кг
Параметры отбора проб
Температура пробы	от окружающей до 600С (в зависимости от температуры калибровки)
Поток пробы	0,2 - 10 л/мин
Давление пробы	0,01 - 8 атм. (в зависимости от давления калибровки)
Газовая кювета
Конструкция	нержавеющая сталь 316
Фланцы	1/4" VCR
Трубопровод	1/4" нерж.сталь, прогреваемые
Зеркала	никелированная алюминиевая подложка с напылением золотом
Окна	KBr, CaF2, ZnSe (другие материалы по запросу)

Детектируемые газы

В таблице приведены пределы детектирования для газовой ячейки длиной 5,11 метров и MCT детектор (КРТ - Кадмий-Ртуть-Теллур) с разрешением 0,5 см^-1 для некоторых газов

Наименование	Формула	Газовая среда	Характерный предел обнаружения с кюветой 20/20TM за 2 мин. измерений
Вода	H2O	NH3, NF3, N2O, PH3 , AsH3	20 ppb
Углекислый газ	CO2	NH3 и NF3	5 ppb
Угарный газ	CO	NH3 и NF3	6 ppb
Плавиковая кислота	HF	NF3	9 ppb
Метан	CH4	NF3	15 ppb
Закись азота	N2O	NF3	3 ppb