Компактные безмасляные форвакуумные насосы
(серии ACP 15, ACP 28, ACP40 и ACP 120)

Общая информация. Модификации.

Этот тип безмасляных форвакуумных насосов был разработан в ответ
на постоянно растущую на рынке вакуумного оборудования потребность
в простых и относительно недорогих (в отличие от насосов, применяемых в полупроводниковой промышленности) безмасляных откачных средствах.
Применение безмасляных форвакуумных средств откачки позволяет
пользователю перейти на полностью безмасляные откачные системы.
Во многих областях, особо требовательных к чистоте откачиваемого объема
от паров масла, возникла необходимость заменить традиционные
пластинчато-роторные насосы, работающие по принципу масляного клина,
на полностью безмасляные аналоги.

Принципиально, насос серии АСР - многоступенчатый насос Рутса. Благодаря высокой точности изготовления деталей и хорошей сбалансированности роторов насоса у него полностью отсутствует трение в проточной части, что позволяет избежать применения вакуумного масла, получать особо чистый вакуум, обеспечить длительную эксплуатацию без планового обслуживания. Этот тип насосов отличается компактностью и высокой надёжностью. Насосы серии АСР сравнимы по своим размерам с пластинчато-роторными насосами, однако обеспечивают полностью безмасляную откачку и максимальное разряжение на уровне 5∙10^-2 Торр.

Серия АСР представлена двумя модификациями: стандартная, модификация "G".

• Лаборатории (электронные микроскопы, анализаторы поверхностей, течеискатели, масс-спектрометры, и др.).
• Научно-исследовательские и опытно-конструкторские работы (ускорители частиц и др.).
• Производство (неоновые трубки, электролампы, и др.).
• Шлюзы чистых комнат.

Предназначена для откачки газов с примесями и коррозионных газов. Оборудована системой напуска газа для продува подшипников инертным газом.
Рекомендована к применению:

• контроль за ходом технологического процесса
• ионные процессы
• шлюзы и запорные механизмы вакуумных установок, связанных с химически агрессивными средами, реактивные процессы и т.д.

Некоторые преимущества насосов серии АСР

• Благодаря отсутствию трения и масла на элементах насоса соприкасающихся с откачиваемым газом, не происходит загрязнения откачиваемого объёма ни посторонними частицами (материал ротора и статора), ни масляными парами.
• Большой опыт АDIXEN (Alcatel Vacuum Technology) в производстве и эксплуатации насосов Рутса является гарантией высокой надёжности. Безмасляные насосы АDIXEN (Alcatel Vacuum Technology) - лидеры по использованию в полупроводниковой отрасли
• Недорогое и простое техническое обслуживание предполагает замену несущего подшипника ступени низкого давления каждые 13000 - 17000 часов работы и чистку внутренних поверхностей с заменой всех подшипников через каждые 26000 часов работы.
• Блок питания оригинальной конструкции обеспечивает устойчивость откачных характеристик насоса, несмотря на колебания напряжения электросети (от 180 до 254 В для однофазного мотора и от 200 до 415 В для трехфазного).
• Благодаря относительно небольшим габаритам легко интегрируется в ограниченное пространство.
• Возможность подключения блока дистанционного управления.
• Цифровой индикатор моточасов.
• Воздушное охлаждение.

Скорость откачки и откачка эталонной камеры объемом 1 м³ для ACP 15
 
 

Скорость откачки для АСР 28 и АСР 28G  и ACP 40 и ACP 40G

При закрытой продувке
При отккрытой продувке

Откачка эталонной камеры объёмом 1 м³ для АСР 28 и АСР 28 G и ACP 40 и ACP 40G

При закрытой продувке
При отккрытой продувке


Технические характеристики