Компактные безмасляные форвакуумные насосы (серии ACP15, ACP28, ACP40 и ACP120)
|
Некоторые преимущества насосов серии АСР
- Благодаря отсутствию трения и масла на элементах насоса соприкасающихся с откачиваемым газом, не происходит загрязнения откачиваемого объёма ни посторонними частицами (материал ротора и статора), ни масляными парами
- Большой опыт АDIXEN (Alcatel Vacuum Technology) в производстве и эксплуатации насосов Рутса является гарантией высокой надёжности. Безмасляные насосы АDIXEN (Alcatel Vacuum Technology) - лидеры по использованию в полупроводниковой отрасли
- Недорогое и простое техническое обслуживание предполагает замену несущего подшипника ступени низкого давления каждые 20000 - 22000 часов работы и чистку внутренних поверхностей с заменой всех подшипников через каждые 26 000 часов работы
- Блок питания оригинальной конструкции обеспечивает устойчивость откачных характеристик насоса, несмотря на колебания напряжения электросети (от 180 до 254 В для однофазного мотора и от 200 до 415 В для трёхфазного)
- Благодаря относительно небольшим габаритам легко интегрируется в ограниченное пространство
- Возможность подключения блока дистанционного управления
- Цифровой индикатор моточасов и цифровой интерфейс RS485
-
Воздушное охлаждение
|
Общая информация. Модификации.
| Этот тип безмасляных форвакуумных насосов был разработан в ответ на постоянно растущую на рынке вакуумного оборудования потребность в простых и относительно недорогих (в отличие от насосов, применяемых в полупроводниковой промышленности) безмасляных откачных средствах. Применение безмасляных форвакуумных средств откачки позволяет пользователю перейти на полностью безмасляные откачные системы. Во многих областях, особо требовательных к чистоте откачиваемого объема от паров масла, возникла необходимость заменить традиционные пластинчато-роторные насосы, работающие по принципу масляного клина, на полностью безмасляные аналоги. |
 |
|
Принципиально, насос серии АСР - это многоступенчатый насос Рутса. Благодаря высокой точности изготовления деталей и хорошей сбалансированности роторов насоса у него полностью отсутствует трение в проточной части, что позволяет избежать применения вакуумного масла, получать особо чистый вакуум, обеспечить длительную эксплуатацию без планового обслуживания. Этот тип насосов отличается компактностью и высокой надёжностью. Насосы серии АСР сравнимы по своим размерам с пластинчато-роторными насосами, однако обеспечивают полностью безмасляную откачку и максимальное разряжение на уровне 5*10-2 Торр.
|
Безмасляные форвакуумные насосы АСР представлены тремя модификациями: стандартная, химстойкая "G" и для откачки паров "CV"
Стандартная модификация
Предназначена для работы с некоррозионными чистыми газами. Насосы комплектуются тремя видами газвого балласта, который обеспечивает лучшую откачку легких газов.
Основные области применения стандартной модификации:
-
Лаборатории (электронные микроскопы, анализаторы поверхностей, течеискатели, масс-спектрометры, и др.)
-
Научно-исследовательские и опытно-конструкторские работы (ускорители частиц и др.)
-
Производство (неоновые трубки, электролампы, и др.)
-
Шлюзы чистых комнат
|
|
 |
|
|
|
Химстойкая модификация "G"
Предназначена для откачки газов с примесями и коррозионных газов. Оборудована системой напуска газа для продува подшипников инертным газом.
Рекомендована к применению:
|
|
|
|
|
|
Модификация для откачки паров "CV"
Насосы специально разработаны для предотвращения конденсации паров внутри насоса. Высокий поток через газовый балласт нагревает насос и удаляет конденсат. Насосы комплектуются внешним глушителем для удаления конденсата с последней ступени и системой напуска газа для продува подшипников инертным газом. Производительность по парам воды 1000 гр/ч (при далвении 100 мбар и температуре 30С)
Основные области применения этой модификации:
- Вакуумная сушка
- Откачка объемов насыщенных парами воды
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Технические характеристики
|
|
АСР 15
|
АСР 28
|
АСР 40
|
АСР 120
|
|
стандарт
|
G-версия
|
стандарт
|
G-версия
|
стандарт
|
G-версия
|
стандарт
|
G-версия
|
|
Скорость откачки, м3/ч
|
14
|
27
|
37
|
95
|
|
Остаточное давление при закрытой продувке, мбар
|
3*10-2
|
3*10-2
|
3*10-2
|
3*10-2
|
|
Остаточное давление при открытой продувке (азот), мбар
|
0,1
|
0,1
|
0,1
|
-
|
9*10-2
|
|
Максимальное продолжительное давление на входе, мбар
|
1013
|
1013
|
1013
|
300
|
|
Питающее напряжение в пределах
|
90 - 254 В 50/60 Гц
|
90 - 254 В 50/60 Гц
|
90 - 254 В 50/60 Гц
|
90 - 254 В 50/60 Гц
|
|
Рабочая температура, °C
|
12 - 40
|
10 - 40
|
10 - 40
|
10 - 40
|
|
Фланцы всасывания / выхлопа, ISO-KF
|
DN25/DN16
|
DN25/DN25
|
DN40/DN25
|
DN50/DN40
|
|
Входной фланец для продувки / продува азотом
|
¼ " G
|
¼ " G
|
¼ " G
|
¼ " G
|
|
Расход азота при продуве, ст.см3/мин
|
до 5000
|
до 3700
|
до 3700
|
до 50000
|
|
Габаритные размеры (д/ш/в), мм
|
514 x 190 x 270
|
647 x 193 x 322
|
647 x 193 x 322
|
840 x 370 x 505
|
|
Вес, кг
|
23
|
30
|
31
|
32
|
33
|
205
|
|
Уровень герметичности, мбар∙л/сек
|
< 5*10-7
|
< 5*10-7
|
< 5*10-7
|
< 5*10-7
|
|
Потребление электроэнергии
|
|
|
|
|
|
- при максимальном разряжении, Вт.
|
450
|
700
|
700
|
1500
|
|
- при 1000 мбар, Вт.
|
550
|
1050
|
1050
|
-
|
|