Газовый анализ: инфракрасный Фурье (FTIR) и недиспергирующий (NDIR)

Продукция компании MKS, на основе ИК Фурье-спектрометров и недиспергирующих датчиков, с чувствительностью от ppm/ppb для множества газов, широко применяется в различных отраслях промышленности: мониторинг выбросов из дымовых труб, непрерывный мониторинг выбросов веществ в окружающую среду, мониторинг технологических процессов, мониторинг выбросов формальдегидов и мониторинг процессов очистки.

Инфракрасные Фурье-анализаторы (FTIR)

Анализатор MultiGas^TM 2030, работающий в режиме реального времени,

осуществляет детектирование в пределах от ppm/ppb. Применяется для непрерывного мониторинга выбросов веществ в окружающую среду, выбросов из дымовых труб, очистки воздуха, контроля автомобильных и дизельных выхлопов и мониторинга селективного каталитического восстановления.

Анализатор MultiGas^TM 2030 HS (высокоскоростной с частотой 5 Гц) для анализа продуктов горения

на базе ИК Фурье-спектрометра высокого разрешения, разработанный для мониторинга выбросов продуктов горения катализаторов, автомобильных и дизельных двигателей с частотой образцов 5 Гц (с частотой 5 образцов в секунду).

Анализатор MultiGas^TM Purity - быстродействующий детектор остаточных примесей

осуществляет детектирование загрязняющих веществ на уровне ppb в таких очищенных газах, как NF₃, NH₃ и H₂.

InDuct^TM газовый FTIR-датчик
экономный и компактный InDuct легко интегрируются в любые технические процессы для обнаружения неисправностей, мониторинга, контроля или определения момента завершения технологического процесса. Предоставляя в реальном времени информацию об абсолютном и относительном парциальном давлении газа, этот датчик идеален для применения в технологических и согласованных процессах. Датчик InDuct^TM свободно подходит к обычным фланцам, вакуумным соединениям и деталям конечного пользователя и изготовителей комплексного оборудования, не требуя никаких манипуляций с образцом.

Недиспергирующие анализаторы (NDIR)

Process Sense^TM детектор момента завершения очистки камеры

компактный, недорогой анализатор парциального давления специально сконструирован для определения окончания очистки плазменных камер, используемых как при производстве полупроводников, так и плазменных панелей. В основе Process Sense^TM лежит явление поглощение газом излучения в ИК диапазоне, единственный метод измерений, применимый ко всем процессам плазменной очистки.

Программное обеспечение (SECSTrace)

SECSTrace для FTIR/NDIR анализа

Программное обеспечение SECSTrace^TM разработано для мониторинга газового состава в полупроводниковых процессах. Данные отображаются на 4-х графиках и сохраняются в табличной форме в ASCII файлах, которые легко импортируются в большинство программ.

Скачать 2-х недельную бесплатную копию SECSTrace.