Endeavor AT™

Endeavor AT™
Размер пластин: 100 – 200 мм 
Кластерная установка Tegal Endeavor AT™ это современная платформа для традиционного и и реактивного напыления тонких пленок широкого ассортимента материалов, используемых в полупроводниковой промышленности. Сердце системы - запатентованный двухкатодный магнетронный распылительный источник S-Gun™. Разработанный дать инженеру полный контроль за широким спектром параметров процесса, он производит тонкие пленки высокой плотности и чистоты с отличной однородностью при небольших нагрузках. В возможности системы включены двухсторонняя и под прижимом металлизация, высокоплотная силикон-нитридная герметизация, производство пленочных резисторов с контролируемым температурным коэффициентом сопротивления и высокоориентированное покрытие нитрида алюминия для акустических резонаторов с тонкими пленками. Endeavor AT - это наиболее передовая система осаждения для металлизации сверхтонких кремниевых пластин, используемых для передовых устройств с мощными биполярными транзисторами с изолированными затворами (IGBT). 

Endeavor AT™ и EndeavorEUV™ зарегистрированные торговые марки компании Tegal Corporation