Установки физического осаждения (PVD)
[Endeavor™ PVD Available Products ]
Endeavor AT™
EndeavorEUV™
 |
Кластерная установка Endeavor™ PVD имеет в своей основе запатентованный компанией Tegal магнетронный распылительный источник S-Gun™. Платформа может принять до пяти технологических модулей, включая широкий выбор, электрических и диэлектрических напылительных конфигураций в добавление к модулю плазменной предварительной очистки. Транспортная система может принять пластины от 50 до 200 мм или шестидюймовые квадратные образцы в уникальном «напыление вверх» направлении, что очень мягко и надежно. Уникальное транспортное устройство особенно подходит для металлизации с обратной стороны на хрупких ультратонких кремниевых пластинах, так как переносит их без переворачивания и применения механического давления. Каждая система содержит в себе передовую мультиинструментальную технологию с последними инновациями в области контроля за загрязнениями и автоматизации предприятий. Гибкие и надежные системы Tegal's Endeavor отвечают на вызов по осаждению новых материалов в сегодняшних условиях производства и прокладывают пути обновления в будущее. |
Endeavor™ and EndeavorEUV™ зарегистрированные торговые марки компании Tegal Corporation
|
