Квадрупольный масс-спектрометр e-Vision 2 для газового анализа

Анализ остаточных газов является повседневной задачей для любого технолога. Возможность быстро определить парциальные давления газов в вакуумной камере дает полноту информации для облегчения устранения возможных течей, определения компонентов при нарушенной дегазации, идентификации загрязнения процесса, определения момента необходимости регенерации крио-насосов и геттерных систем. e-Vision 2 является одним из новейших продуктов от компании MKS Instruments, разработанный специально для удовлетворения всех традиционных требований, предъявляемых к квадрупольному сенсору, но с регистрацией данных на скоростях, недоступных ранее технологиям предыдущих поколений.

 

Применения

		Поиск течей в вакуумных линиях, уплотнениях и сварочных швах Диагностика вакуума Мониторинг откачки Мониторинг качества отжига Проверка герметичности охлаждающих линий в вакуумной камере Мониторинг загрязнений в камере В качестве контрольно измерительного устройства для крионасоса В качестве контрольно измерительного устройства для геттерной установки
e-Vision 2 подходит для решения огромного числа задач в вакуумных установках

 

Оборудование

Сенсор Проверенные на практике квадрупольные масс-спектрометры MKS Instruments со стандартными двойными катодами обеспечивают минимальное время для проведения диагностики и проверки состояния оборудования. Квадрупольные масс-спектрометры могут поставляться с двойным детектором, включающим чашу Фарадея и УВЭ (умножитель вторичных электронов), при этом предел детектирования парциальных давлений газов расширяется до 1*10-14 мбар

Электроника Сбор данных осуществляется с помощью полностью твердотельной и быстродействующей регистрирующей электроники с широким динамическим диапазоном. Эта технология препятствует образованию ошибок в измерении маленьких пиков сигнала, идущих вслед за большими. Температурная стабилизация основных компонентов масс-спектрометра обеспечивает стабильный сигнал измерений и уменьшает дрейф, при этом масс-спектрометр не требует повторной калибровки, если температура вакуумной камеры стабильна, но присутствуют температурные колебания окружающей среды

  

Программное обеспечение

		Встроенное web-приложение Web-интерфейс позволяет управлять масс-спектрометром e-Vision 2, а также калибровкой и экспортом данных с помощью любого web-браузера и из любой точки подключения к локальной компьютерной сети. С помощью ASCII и TCP-IP протоколов можно посылать и получать команды и данные от e-Vision 2. В дополнение к стандартному, встроенному web-приложению, предусматривается возможность использования программного обеспечения в виде Windows-приложения, предоставляющее широкие возможности оператору
Встроенное web-приложение для управления и регистрации данных от e-Vision 2
		Easy view Это программное обеспечение для квадрупольных масс-спектрометров с большей функциональностью, чем встроенное web-приложение: запись и просмотр данных с помощью специальной программы Recall viewer графическое представление данных с комментариями управление несколькими масс-спектрометрами с использованием лишь одного комплекта программного обеспечения
Программное обеспечение Easy View для обработки данных и управления одновременно несколькими масс-спектрометрами

 

Характеристики квадрупольного масс-спектрометра e-Vision 2

Электроника
Вес (устанавливаемый на фланец)	1,7 кг
Электропитание	24VDC, 2A внешний блок питания 220В/50Гц входит в комплект поставки
Максимально допустимая температура окружающей среды	40 °C и относительная влажность 80%
Протокол связи с компьютером	10/100 Base-T Ethernet, статические или автоматически определяемые IP адреса
Метод регистрации данных	Процессор сбора данных, работающий в режиме реального времени
Метод накопления данных	­Аналоговое сканирование, диапазон измеряемых масс - 8, 16, или 32 точки/а.е.м. Сканирование столбчатых диаграмм Регистрация пиков - до 15 пиков/скан
Максимальная скорость регистрации данных	< 3 мс на одну точку (для аналогового сканирования)
Командная структура управления	Протокол ASCII команд
Энергия электронов	40 или 70 эВ (задаются конфигурацией)
Ток эмиссии	1 мА
Защита катодов	Оптоизолированный вход для защиты катода, автоматический контроль подключения к штепсельному соединению
Программное обеспечение	Встроенный web-интерфейс для управления масс-спектрометром и регистрацией данных (использующие произвольный web-браузер и компьютер); Опционально, программа EasyView

 

Анализатор
Диапазон измеряемых масс	100 или 200 а.е.м.
Длина фильтра	4" (100 мм)
Детектор	чаша Фарадея или чаша Фарадея с УВЭ (умножителем вторичных электронов)
Катоды	Вольфрамовый или иридиевый, покрытый окисью тория
Максимальное рабочее давление	1*10-4 торр (1,3*10-4 мбар)
Чувствительность ионного источника	2*10-4 А/мбар
Минимальное определяемое парциальное давление (накопление в течение 300 мс, 3 среднеквадратических отклонения)	2*10-11 торр (2,6*10-11 мбар) чаша Фарадея 5*10-14 торр (6,7*10-14 мбар) умножитель
Стабильность	±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при постоянной температуре окружающей среды
Разрешение	менее 10% между пиками с равными высотами по всему диапазону измеряемых масс
Температура отжига	250 оС (без электронной части)
Рабочая температура	200 оС (с использованием только чаши Фарадея), температура электроники < 40 оС 150 оС (с использованием электронного умножителя), температура электроники < 40 оС и давление < 1*10-8 мбар 90 оС (с использованием электронного умножителя), температура электроники < 40 оС и давление < 1*10-5 мбар

 

Размеры квадрупольного масс-спектрометра e-Vision 2