Гибридный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе АТН500М
Компания Adixen (Alcatel Vacuum Technology) представляет новый высоковакуумный гибридный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе АТН 500 М. Насос предназначен для работы в приложениях, требующих средней производительности. Насос доступен как в версии с водяным охлаждением, так и с воздушным и имеет интегрированный контроллер. Насос применяется:
- научные исследования
- напыление
- электронные микроскопы
- CVD и PVD процессы
- шлюзовые камеры и прочее
|
Особенности и преимущества
высокая надежность
низкий уровень шума и вибраций
абсолютно безмасляный вакуум
компактные размеры
магнитный подвес, не требующий обслуживания
изменяемая частота вращения ротора для оптимизации процесса откачки
встроенный контроллер, питание 48VDC
установка в любой ориентации
|
 |
В дополнение к насосу поставляются внешний блок питания 220VAC/48VDC и выносная панель управления, обеспечивающая функции контроллера.
Технические характеристики:
|
Характеристика
|
ед. изм.
|
АТН 500 М
|
|
Присоединительный фланец
|
|
ISO-F, ISO-K, CFF
|
|
DN100
|
DN160
|
|
Скорость откачки по
|
N2
|
л/сек
|
340
|
500
|
|
Ar
|
350
|
500
|
|
He
|
250
|
340
|
|
H2
|
150
|
200
|
|
Степень сжатия
|
Ar
|
|
108
|
|
N2
|
107
|
|
He
|
104
|
|
H2
|
103
|
|
Частота вращения
|
об/мин
|
50000
|
|
Предельное давление
|
Торр
|
7х10-8
|
|
Макс. давление на входе
|
0,1
|
|
Макс. давление на выхлопе
|
1,5
|
|
Расход воды на охлаждение
|
л/час
|
60
|
|
Уровень вибраций
|
мкм
|
0,01
|
|
Электропитание
|
В
|
48
|
|
Номинальная мощность
|
Вт
|
350
|
|
Время старта
|
мин
|
<3
|
|
Уровень шума
|
dbA
|
39
|
|
Габаритные размеры
|
высота
|
мм
|
255
|
|
диаметр
|
225
|
|
Масса
|
кг
|
13
|
|
