Гибридный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе ATН3200М
Насос ATН3200М это высокопроизводительное решение применяемое в вакуумных приложениях, где требуется высокая скорость откачки одновременно с высокой пропускной способностью (до 5000 см3/мин по азоту). Насос применяется, как для легких, так и для агрессивных процессов в различных областях промышленности:
- 300 мм полупроводниковое производство
- производство ЖК-дисплеев
- производство солнечных батарей
- напыление
- имитация космического пространства
- научные исследования и прочее
|
Особенности и преимущества
высокое среднее время наработки на отказ
активная система магнитного подвеса обеспечивает отсутствие загрязнения (абсолютно безмаслянный вакуум) и низкий уровень шума и вибраций
регулируемая скорость вращения ротора для оптимизации параметров откачки
интегрированная система продувки и управления температурой обеспечивает высокую степень защиты деталей насоса
|
 |
Технические характеристики
|
Характеристика
|
ед. изм.
|
ATН3200М
|
|
Присоединительный фланец
|
|
DN320 ISO F
|
|
Скорость откачки по
|
N2
|
л/сек
|
2600
|
|
Ar
|
2500
|
|
He
|
2400
|
|
H2
|
1800
|
|
Степень сжатия
|
Ar
|
|
1010
|
|
N2
|
109
|
|
He
|
104
|
|
H2
|
103
|
|
Частота вращения
|
об/мин
|
25000
|
|
Предельное давление
|
Торр
|
10-9
|
|
Макс. давление на входе
|
0,2
|
|
Макс. давление на выхлопе
|
1,1
|
|
Расход воды на охлаждение
|
л/час
|
60
|
|
Габаритные размеры
|
высота
|
мм
|
351
|
|
диаметр
|
367
|
|
Масса
|
кг
|
80
|
|
